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ZYGO 激光干涉儀

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ZYGO 大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機經(jīng)過擴束為大口徑系統(tǒng)，通常為雙通道，即4英寸測量通道和大口徑測量通道，具有多種高精度測量模式，如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動態(tài)測量等。

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大口徑激光干涉儀

ZYGO大口徑激光干涉儀系統(tǒng)是雙通道測量系統(tǒng)，小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度測量模式，如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動態(tài)測量等。大口徑激光干涉儀從常規(guī)的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口徑激光干涉儀包括

? 激光干涉儀主機(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調(diào)制主機)

? MUX分光器（光束轉(zhuǎn)換器）

? 擴束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選）

? 機械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調(diào)制測量技術(shù)

? 參考光束-透射平板和參考平板是光學(xué)系統(tǒng)必需的附件

? 調(diào)整架-用于調(diào)整參考光束和測試光束的位置

大口徑激光干涉儀系統(tǒng)組件可以與干涉儀主機分開購買，如果您需要系統(tǒng)測量和配置方面的具體信息請


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