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SBC-12 小型離子濺射儀

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濺射納米金膜

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本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣*的儀器。
Ø       玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
Ø       試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
Ø       金靶尺寸:Φ58mm
Ø       真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
Ø       真空檢測:皮氏計
Ø       真空保護:20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
Ø       工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
 


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