KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器， iMicro微納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及具有良好靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。
? 快速準(zhǔn)確的動(dòng)態(tài)納米壓痕測(cè)試
? 電磁加載方式
? 快速準(zhǔn)確的位移測(cè)量
主要功能
靜態(tài)/動(dòng)態(tài)納米壓痕：楊氏模量/硬度
連續(xù)剛度：高準(zhǔn)度薄膜測(cè)試，楊氏模量/硬度，<100nm
DMA功能：橡膠等粘彈性材料存儲(chǔ)模量/損耗系數(shù)
劃痕測(cè)試
高溫納米壓痕300℃
斷裂韌性測(cè)試
橫向加載，泊松比測(cè)試
3D/4D 楊氏模量/硬度mapping
技術(shù)特點(diǎn)
•電磁制動(dòng)器適用于包括IMicro在內(nèi)的納米力學(xué)公司生產(chǎn)的所有系統(tǒng)
•這些執(zhí)行器是一種堅(jiān)固的線性裝置，具有固定的解耦力和位移。大的力為1N，分辨率為6nN，低噪音<200nN。
•IMicro的時(shí)間常數(shù)為20us，是一種能滿足規(guī)格要求，大壓痕為80um噪聲小于0.1nm，數(shù)字分辨率為0.04nm，漂移率<0.05nm/s
•IMicro包括InView軟件，它提供非常強(qiáng)大和直觀的實(shí)驗(yàn)?zāi)_本平臺(tái)，可以用于設(shè)計(jì)新穎的實(shí)驗(yàn)。有經(jīng)驗(yàn)的用戶可以使用IMicro進(jìn)行幾乎所有小規(guī)模的機(jī)械測(cè)試。
•樣品臺(tái)移動(dòng)Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測(cè)試各種樣品高度和大樣品區(qū)。
•載荷剛度>3,500,000N/m
•特的TiP-calibration系統(tǒng)集成到軟件中，可以快速、準(zhǔn)確、自動(dòng)的進(jìn)行校準(zhǔn)?？蛇x擇NanoBlitz地形和斷層掃描軟件來(lái)執(zhí)行
•更高的負(fù)載和更廣泛的應(yīng)用使IMicro成為世界上研究實(shí)驗(yàn)室的選擇
•允許進(jìn)行廣泛的測(cè)試，包括但不限于特定頻率的實(shí)驗(yàn)、存儲(chǔ)和損失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定應(yīng)變率。
•多功能執(zhí)行機(jī)構(gòu)可用于測(cè)試任何材料，從超軟凝膠到硬涂層。
•可用的劃痕選項(xiàng)，大負(fù)載為50mN，大劃痕偏差為2.5mm，大劃痕速度為500um/s。
