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上海伯東代理電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) E-Beam

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上海伯東代理 E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) ( 電子蒸鍍 ), zui大真空度可達(dá) 5E-10 torr, 提供客制化服務(wù).

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) E-Beam

電子束蒸發(fā)鍍膜 E-Beam
上海伯東代理 E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) ( 電子蒸鍍 ), zui大真空度可達(dá) 5E-10 torr, 提供客制化服務(wù).

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

 推薦設(shè)備型號: EBS-150
 標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計, 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程; 
 右邊沉積腔內(nèi)含一個電子束, 適用于約瑟夫森結(jié),
 特性:
 真空度 5E-8 torr
 zui大 8inch 樣品
 基本可傾斜 / 旋轉(zhuǎn)
 可選 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

 型號 EBS-150 UHV
 特性:
 真空度 5E-10 torr
 zui大 6inch 樣品
 基本可傾斜 / 旋轉(zhuǎn)
 可選 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

電子束蒸發(fā)

 型號 EBS-300 Dual
 特性:
 真空度 5E-7 torr
 行星機(jī)械手
 雙 E-gun
 全自動加工
 軟件控制


E-Beam 電子束蒸發(fā)適用于
Lift-off 工藝
HMET, PHMET 晶體管
Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化鎵基片歐姆和肖特基接觸
IR waveguides 紅外波導(dǎo)
Thermal barriers 熱障
Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波應(yīng)用
MEMS 封裝
超導(dǎo)隧道結(jié)


上海伯東代理電子束蒸鍍設(shè)備,專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導(dǎo)量子實驗室制備超導(dǎo)結(jié) ( 量子比特和約瑟夫森結(jié) ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié). 電子束蒸發(fā)設(shè)備提供客制化服務(wù), 滿足各類不同真空系統(tǒng)整合需求!


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上海伯東 : 羅先生






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