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MPI手動(dòng)晶圓級(jí)太赫茲探針臺(tái)系統(tǒng)

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TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計(jì),例如高速5G通信,衛(wèi)星,非侵入性光譜,醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車?yán)走_(dá)等,其方法是在同一探針臺(tái)上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個(gè)系統(tǒng)是業(yè)界明確設(shè)計(jì)的150 mm和200 mm探針系統(tǒng),可結(jié)合毫米波,太赫茲(THz)和自動(dòng)阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求,以的測(cè)量方向性提供準(zhǔn)確的測(cè)試。

  • 任意可達(dá)1.5THz的帶寬、差分或?qū)拵U(kuò)頻器和/或自動(dòng)阻抗調(diào)諧器的無(wú)縫集成;
  • 擴(kuò)展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)的測(cè)量動(dòng)態(tài);
  • 的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性,結(jié)合方便和安全的操作。

TS150-AIT & TS200-THZ細(xì)節(jié)優(yōu)勢(shì)

MPI TS200-THZ手動(dòng)探針系統(tǒng)具有的功能。這些高度可重復(fù)性(1µm)的壓板提升設(shè)計(jì),具有用于安全,接觸,分離(300µm)和加載(3mm)的三個(gè)離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時(shí)提供直觀的控制,準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位和安全設(shè)置。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度(50、100或150 µm),可輕松方便地將探頭與焊盤(pán)對(duì)齊。

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

氣浮式移動(dòng)系統(tǒng)

MPI的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì),具有簡(jiǎn)單的單手定標(biāo)器控制,為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性,同時(shí)搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯,不影響精確定位能力。

卡盤(pán)Z調(diào)整

TS150-TH有10mm的精細(xì)卡盤(pán)Z調(diào)整,旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。對(duì)于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案的設(shè)置非常有利,可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

微型定位器

專用的極剛性探針臺(tái)板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過(guò)將兩個(gè)南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可以輕松進(jìn)行四端口RF測(cè)量或DC偏置。

MP80-DX

市場(chǎng)上另一個(gè)MPI開(kāi)拓性解決方案——的MP80-DX,具有低至1µm的簡(jiǎn)單、精確的精確度,是精確且經(jīng)濟(jì)高效的多線TRL的理想選擇,即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法。有關(guān)更多詳細(xì)信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn) MPI QAlibria® 軟件。

多種卡盤(pán)選項(xiàng)

TS200-THZ提供多種卡盤(pán)選件,以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求,例如MPI:帶BNC連接器的標(biāo)準(zhǔn)RF卡盤(pán); 專用mmW卡盤(pán),內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至 ERS AirCool射頻卡盤(pán)(從20°C到200°C或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。 所有卡盤(pán)都有兩個(gè)由陶瓷材料制成的輔助卡盤(pán),用于精確的RF校準(zhǔn),尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)。

多種光學(xué)選項(xiàng)

提供專用的MPI光學(xué)元件 ,可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學(xué)變焦高達(dá)12倍,工作距離超過(guò)45毫米。由于集成擴(kuò)頻器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應(yīng)用。

擴(kuò)頻器集成

TS200-THZ集成了全新的擴(kuò)頻器集成設(shè)計(jì)。為了地減少到DUT的距離并提供的測(cè)量方向性,MPI引入了一種新穎的概念,將擴(kuò)展器懸停在整個(gè)200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺(tái)的附加關(guān)鍵功能是輕松,便捷和快速地重新配置。


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