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壓電亞納米/納米平移臺（壓電直推型，0-1500μm行程）

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高精度亞納米法國PIEZOCONCEPT壓電納米平移臺是以壓電陶瓷為驅(qū)動，采用柔性鉸鏈連接，選用比傳統(tǒng)電容位移傳感器性能更優(yōu)的Si-HR傳感器，具有更高的穩(wěn)定性和閉環(huán)精度

詳細信息 在線詢價

高精度亞納米

 

       法國PIEZOCONCEPT壓電納米平移臺是以壓電陶瓷為驅(qū)動，采用柔性鉸鏈連接，選用比傳統(tǒng)電容位移傳感器性能更優(yōu)的Si-HR 傳感器，具有更高的穩(wěn)定性和閉環(huán)精度?，F(xiàn)可提供一維/二維/三維（X、Z、XY及XYZ）精密壓電納米、儀和快速偏擺臺等產(chǎn)品，一維位移臺行程可達1500um（MAX）。支持短周期、低費用的定制服務(wù)。

 

       采用硅基高精度硅基位移傳感器（Si-HR 傳感器）閉環(huán)反饋，使平臺擁有毫秒級響應(yīng)速度，亞納米級的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高線性度（0.02%）。配備16Bit高分辨率高速控制器，支持模擬/數(shù)字信號控制。被廣泛應(yīng)用于，、系統(tǒng)、原子力顯微鏡、體容積成像、顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、等領(lǐng)域。 受到國內(nèi)外工業(yè)領(lǐng)域和科研領(lǐng)域的。



主要特點主要應(yīng)用


高分辨率：0.005nm/urad（Max）

超大行程：1500um（Max）

超低底噪：10-50pm

超高速：諧振頻率7000Hz（Max）

高性能傳感器：Si-HR 傳感器

柔性鉸鏈：高可靠、長壽命

緊湊設(shè)計

可用于真空環(huán)境


超分辨顯微

原子力顯微鏡

干涉測量

精密光學(xué)

/掃描

光鑷

納米刻蝕 


1）單軸

單軸壓電平臺是可以在單個維度上提供精確定位的產(chǎn)品，主要包含X軸壓電平臺、Z軸壓電平臺、物鏡、快速反射鏡。

①   X軸壓電平臺

      可提供各類大行程/高精度、中空/非中空類型的產(chǎn)品

型號

AU-HS1

AU-HS1H

AU-CX

AU-LF1

AU-SLR

產(chǎn)品圖片

行程(μm)

10/30/50/70/100

30/50/70/100

100/200

100/200/300

300/500/800/1500

分辨率(nm)

0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

0.03/0.05/0.07/0.1

0.1/0.2

0.1/0.2/0.3

0.3/0.5/0.8/1.5

重復(fù)精度（全行程）nm

0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

0.06/0.1/0.14/0.2

0.2/0.4

0.2/0.4/0.6

0.6/1/1.6/3

本底噪聲nm

0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

0.003/0.005/0.007/0.01

0.01/0.02

0.01/0.02/0.03

0.03/0.05/0.08/0.15

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋

產(chǎn)品特點超高速，高精度高精度大通孔可用于倒置顯微鏡大通孔可用于生物樣品掃描超大行程


②Z軸壓電平臺


型號

AU-Z-stage

AU-C.Z

Z-insert

Z-insert-K-TYPE

LT-Z

產(chǎn)品圖片

行程(μm)

5/10/25/50

100/200

100/200/300/500

100/200/300

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.005/0.01/0.025/0.05

0.1/0.2

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3/0.5

重復(fù)精度(nm)

0.01/0.02/0.05/0.1

0.2/0.4

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪聲nm

0.0005/0.001/0.0025/0.005

0.01/0.02

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03/0.05

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋



③物鏡掃描臺

型號

FOCHS.100

產(chǎn)品圖片

行程(μm)

100

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3/0.5

全行程重復(fù)精度(nm)

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪聲nm

0.01

0.01/0.02/0.03/0.06

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋


④一維

型號

AU-TT1

產(chǎn)品圖片

角度(mrad)

5/10

分辨率(urad)

0.005/0.01

全行程重復(fù)精度（urad）

0.01/0.02

本底噪聲（urad）

0.0005/0.001

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋


2）兩軸壓電平臺

兩軸壓電平臺可以提供兩個維度上的平移或偏轉(zhuǎn)，主要包括XY二維壓電納米位移臺和二維快反鏡

①XY壓電平臺

型號

LFHS2

C2.

LFS2

LT2

BIO2

產(chǎn)品圖片

行程(μm)

30/50/75

100/200

100

100/200/300

100/200/300

分辨率(nm)

0.03/0.05/0.075

0.1/0.2

0.1

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3

重復(fù)精度(nm)

0.06/0.1/0.15

0.2/0.4

0.2

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

本底噪聲(nm）

0.003/0.005/0.0075

0.01/0.02

0.01

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋

②二維快反鏡

型號

產(chǎn)品圖片

偏轉(zhuǎn)角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重復(fù)精度（μrad）

0.01/0.02

本底噪聲（μrad）

0.0005/0.001

傳感器

硅傳感器閉環(huán)反饋


3）三軸壓電平臺

產(chǎn)品圖片

描述

行程

LT3是一款三維壓電平臺，可提供100,200或300微米的行程。平臺使用硅傳感器，整體厚度只有20mm，該平臺很容易集成到倒置顯微鏡中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm


BIO3是一款超低剖面的三維納米可集成在任何倒置顯微鏡中。載玻片可以放置在其矩形孔中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm


LF3是緊湊型3軸壓電平臺，具有66mm方孔，X軸和Y軸行程范圍為100μm，200μm或300μm，Z軸行程為50μm。   建議要求小尺寸和通光孔時使用。

X-Y:
100μm
200μm
300μm

Z:

50μm

LFS3是一款3軸納米定位平臺，X，Y行程為100μm，Z行程20um，通光孔徑40 x 40 mm。

X-Y:

100μm
 Z:

20μm

LFHS3是一款高速三軸納米定位臺，諧振頻率高于2k，通光孔徑達66x66mm，可實現(xiàn)高速掃描，階躍時間可達2ms

X-Y:

75μm

Z:

50μm


LTHS3是一款超薄高速三維定位平臺，可配合任何倒置顯微鏡使用，可實現(xiàn)高速掃描

X-Y:
75μm

Z:

50μm

C3是一款緊湊型平臺，是對準、雙光子聚合、激光直寫等應(yīng)用的理想產(chǎn)品

X-Y-Z
100μm

200μm


SPM3平臺的Z軸具有高達50μm的行程范圍，諧振頻率高達12.5kHz，當與高功率控制器一起使用時，SPM3.5的Z軸的階躍響應(yīng)時間可以小于毫秒。因此，SPM平臺專為要求苛刻的計量應(yīng)用而設(shè)計，例如原子力顯微鏡。

X-Y:
75μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm


SPM3LR壓電平臺是三維納米定位平臺，X軸和Y軸的位移為   100μm，200μm或300μm。

Z軸部分的行程MAX可達50μm并具有高達12.5kHz的諧振頻率。 SPM3LR.xxx.05的Z軸的階躍響應(yīng)時間可以小于毫秒。

因此，SPM3LR設(shè)計用于要求苛刻的計量應(yīng)用，例如原子力顯微鏡。


X-Y:
100μm

200μm

300μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm

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