大角度微型
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的微型振鏡是一款體積緊湊的大鏡面微型振鏡。
該振鏡促動(dòng)器技術(shù)成熟的電磁驅(qū)動(dòng)。單個(gè)鏡面可提供二維光束偏轉(zhuǎn)，鏡面尺寸可達(dá)到15mm，該設(shè)備不僅可以提供較大的鏡面尺寸，光學(xué)偏轉(zhuǎn)角度更是可達(dá)到±50°該系統(tǒng)包含一個(gè)位置反饋系統(tǒng)，設(shè)備的整體分辨率可達(dá)到5urad。
此外還提供鏡面尺寸為10mm的諧振鏡，X軸諧振掃描，速度可達(dá)250Hz，光學(xué)偏角正負(fù)25°，Y軸靜態(tài)可控偏轉(zhuǎn)，光學(xué)偏角±50°，速度可達(dá)20Hz。
微型振鏡Develop kits圖片：
微型振鏡OEM版本：
大角度閉環(huán)微型振鏡主要特點(diǎn)：
l 大的鏡面尺寸
l 大的光學(xué)偏角蕞大可達(dá)+/- 50°
l 閉環(huán)控制精度可達(dá)5mrad
大角度閉環(huán)微型振鏡主要應(yīng)用：
l
l 自動(dòng)駕駛輔助系統(tǒng)
l 視覺(jué)（視場(chǎng)擴(kuò)展、縮放）
l 計(jì)量生物學(xué)&診斷設(shè)備
l 3D打印
大角度閉環(huán)微型振鏡主要參數(shù)：
Actuator Type | 4-Quandrant (2 axis, bi-directional) |
|
Mechanical tilt angle DC | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mechanical tilt angle dynamic | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mirror diameter | 15 | mm |
Center of rotation to mirror surface | 1.3 | mm |
External diameter | 30 | mm |
Zero drift | 25 | μrad/°C (Max) |
Resolution (closed loop) | <> | μrad |
Repeatability RMS (typical) | 30-100 | μrad |
Full scale bandwidth Sine wave (+/-25°) | 20 | Hz |
Small signal bandwidth | 350 | Hz |
Large angle step response (20° step) | 7.5 | ms |
Small angle step response (0.1° step) | 1.4 | ms |
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