產(chǎn)品型號(hào)

    25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

    1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

    2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

    4、配有防腐型真空計(jì)，當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8×10E-5 torr。

    5、配有雙旋直連式機(jī)械泵。

技術(shù)參數(shù)

　高頻感應(yīng)加熱爐

    1、工作電壓：三相AC 380V  50Hz（需60A空氣開關(guān)）

    2、輸入功率：15KW

    3、振蕩頻率：30KHz-80KHz

    4、循環(huán)比：80%

    5、感應(yīng)線圈：外徑Ø120mm，內(nèi)徑Ø110mm，高50mm（可微調(diào)）

　溫度控制器

    1、工作電壓：AC208V-240V  單相

    2、控溫精度：±5℃

    3、溫度：連續(xù)工作溫度1000℃-2000℃，工作溫度1700℃（工作時(shí)間<30min）

    4、升溫速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃）

　石墨坩堝（易耗件）

    1、高純石墨坩堝：外徑Ø40mm，內(nèi)徑Ø37.1mm，高100.5mm（可選購SiC涂層，涂在坩堝內(nèi)部，以提高金屬熔煉時(shí)的潔凈度）

    2、容量：樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2

　石英管和密封法蘭

    1、石英管：外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø92mm，長355mm

    2、頂部法蘭：不銹鋼法蘭，裝有不銹鋼針閥，設(shè)有1個(gè)鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）

    3、底部法蘭：設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口（可通過波紋管與真空泵相連接）

　水冷機(jī)

    1、溫度：5℃-30℃

    2、水流速：16L/min

    3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作

  （建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到的冷卻效果）

　真空泵

    1、工作電壓：AC208V-240V單相

    2、抽氣速率：120L/min

    3、極限真空度：10^-2torr

  （為了獲得更高的真空度以達(dá)到更好的熔煉效果，可選購渦旋分子泵，真空度可達(dá)10E-5torr）

注意事項(xiàng)

　操作前，必須仔細(xì)閱讀說明書，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過安

　全值，會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

　本機(jī)可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。