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返回產(chǎn)品中心>適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM
搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
| 測量精度 | 1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準晶圓） |
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| 晶圓尺寸 | 直徑 100mm, 150mm, 200mm |
| 自動裝片裝置 | 2個 |
| 設(shè)備尺寸（主體） | 1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米 |
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