測(cè)量范圍：-120～-40℃ 露點(diǎn) （標(biāo)定-100～-40℃）

精確度：-40～-60℃ 范圍為±1℃;-61～-100℃ 范圍為±2℃; -101～-120 范圍為±4℃（估）

分辨率：-40～-79.9℃ 范圍為01℃;-80～-100℃ 范圍為1℃；-100～-120 范圍為1～3℃

額定壓力：Z低為10-9torr；Z高為24MPa

氣流率：1～5 Nlmin-1

在線露點(diǎn)儀 半導(dǎo)體行業(yè)在線露點(diǎn)儀 高穩(wěn)定性能在線露點(diǎn)儀

型號(hào): JC06-Michell                            

簡(jiǎn)單介紹 （變送器+國(guó)產(chǎn)二此表） 于半導(dǎo)體行業(yè) Michell

●安裝簡(jiǎn)便

●高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性

●測(cè)量范圍zui低達(dá)-120OC露點(diǎn)，相當(dāng)于〈1ppbV

●*精確度為±1℃露點(diǎn)

●4～20mA及RS 485輸出

●半導(dǎo)體工業(yè)表面處理和清潔 英國(guó)密析爾儀表有限公司（Michell）生產(chǎn)，專業(yè)的露點(diǎn)變送器生產(chǎn)廠商。

技術(shù)參數(shù)：

傳感器

類型：密析爾Ceramic 陶瓷濕度變送器

測(cè)量范圍：-120～-40℃ 露點(diǎn) （標(biāo)定-100～-40℃）

精確度：-40～-60℃ 范圍為±1℃;-61～-100℃ 范圍為±2℃; -101～-120 范圍為±4℃（估）

分辨率：-40～-79.9℃ 范圍為01℃;-80～-100℃ 范圍為1℃；-100～-120 范圍為1～3℃

額定壓力：zui低為10-9torr；zui高為24MPa

氣流率：1～5 Nlmin-1

電子電路

電源：額定24VDC，10V min., 28V max ,25 mA max

輸出：4～20mA可調(diào),使用提供的界面軟件調(diào)，調(diào)節(jié)范圍1～80℃zui大負(fù)載=1k ? （28VDC 時(shí)），zui小負(fù)載=200?（10VDC 時(shí)）（50?/v）

出錯(cuò)狀態(tài)顯示：標(biāo)準(zhǔn)的出錯(cuò)誤狀況：23mA＝變送器故障；20mA＝超越測(cè)量

范圍；4mA＝小于測(cè)量范圍。這些設(shè)置能通過(guò)提供的軟件界面進(jìn)行調(diào)節(jié)

機(jī)械結(jié)構(gòu)

探頭：冷拉不銹鋼，內(nèi)部0.1-0.2µm Ra鐳電鍍拋光

北京北信科儀分析儀器有限公司

地址：北京市昌平區(qū)西三旗龍旗廣場(chǎng)2號(hào)樓

：李

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