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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
的鏡筒設計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
產(chǎn)品特點
分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
| 電子光學系統(tǒng) | 分辨率 | 1?nm @ 15 kV 1.6 nm @ 1 kV |
| 放大倍率 | 1 x～1,000,000 x | |
| 加速電壓 | 20 V～30 kV | |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 | |
| 磁場屏蔽 | 被動式磁屏蔽 | |
| 主動式磁屏蔽（選配） | ||
| 成像系統(tǒng) | 探測器 | 鏡筒內(nèi)高角度電子探測器 |
| 側(cè)向二次電子探測器 | ||
| 擴展 | 背散射電子探測器 | |
| 能譜儀（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 電子束感生電流（EBIC） | ||
| 陰極熒光（CL） | ||
| 圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |
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