序號(hào)

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

厚度范圍

20nm-50um(只測(cè)膜厚），100nm-10um(同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同

2

準(zhǔn)確度

<1nm或<0.5%

3

重復(fù)性

0.1nm

4

波長(zhǎng)范圍

380nm-1000nm

5

可測(cè)層數(shù)

1-4層

6

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

7

測(cè)量速度

5s-60s

8

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

9

樣品臺(tái)

290mm*160mm

10

光源

長(zhǎng)壽命溴鎢燈（2000h）

11

光纖

純石英寬光譜光纖

12

探測(cè)器

進(jìn)口光纖光譜儀

13

電源

AC100V-240V,50Hz-60Hz

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm