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儀器簡介：橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學無損檢測方法，在材料、信息、化學、物理、生命科學等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景
儀器簡介：
橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學無損檢測方法，在材料、信息、化學、物理、生命科學等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。它已越來越多的用于介電、半導體、金屬、有機物等各種材料的光學特性、結(jié)構(gòu)特征、生長過程和材料質(zhì)量的快速測試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測量，精度高、自動控制，光源采用氦氖激光，波長精度高，儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要，軟件有完整版及學生版兩種版本，適于教學要求。
實驗內(nèi)容：
1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2、掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
主要配置和參數(shù)：
序號 | 名稱 | 規(guī)格和參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-4000nm |
2 | 測量最小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300-10.000 |
4 | 入射角 | 40°-90°誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°-180° |
6 | 偏振器步進角 | 0.0375°/步 |
7 | 測量精度 | ±0.5nm（10nm,±0.5nm） |
8 | 光學中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺直徑 | Φ10mm-Φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |
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