工作臺（機構(gòu)）

鋁合金 /大理石臺面尺寸 （mm）

460X360

560X460

660X560

玻璃臺面尺寸（mm）

340X240

440X340

540X440

運動行程（mm）

300X200

400X300

500X400

承重 （kg）

20

20

20

Z軸升降行程（mm）

200

200

200

外形尺寸約 （mm）

780X630X1550

910X730X1550

1110X840X1550

影像儀幾測量系統(tǒng)

分辨率

1/0.5μm(選配)

儀器精度

（3+L/200）μm

影像系統(tǒng)（CCD）

高清彩色

變焦物鏡系統(tǒng)（X）

高精密變倍卡位鏡頭

視頻總倍率系統(tǒng)（X）

30-200X

工作距離（mm）

96

光源

LED程控分區(qū)光源

輪廓照明

可程LED超亮圓形冷光源

導(dǎo)軌

線形導(dǎo)軌

絲桿

上銀滾珠絲桿

電機控制系統(tǒng)

專用UWC伺服馬達(dá)

光柵尺分辨率

0.001mm

CCD攝像機

 Constance

目  鏡

1X

物  鏡

0．7X～4.5X進(jìn)口POMEAS特定高分辨光學(xué)連續(xù)變倍精密工業(yè)鏡頭

光學(xué)放大倍率

30X～200X

電源供應(yīng)器

電壓AC 220V 50/60Hz

物方視場

7-1.1mm

其他

溫濕度

溫度23±5℃      濕度45%-75%

電腦

專用電腦

電腦桌

專用電腦桌