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掠入射平場(chǎng)光柵光譜儀251MX

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掠入射平場(chǎng)光柵光譜儀251MX



251mx.jpg251MX.png

251MX極紫外掠入射平場(chǎng)光柵光譜儀外形及光路排布


251MX采用在軟X射線診斷領(lǐng)域廣受歡迎的掠入射平場(chǎng)光柵架構(gòu)。其入射角為87°,確保極紫外波段的反射率;采用變柵距(Variable Line-Space, VLS)光柵的柵線非均勻分布,將羅蘭圓像場(chǎng)矯正為平場(chǎng),適合直接探測(cè)CCD相機(jī)等平面探測(cè)器采集。多樣化的光柵選擇使得251MX可滿足1~200nm的攝譜需求。光譜儀可容納兩塊光柵,推拉式切換;支持探測(cè)器平動(dòng)以擴(kuò)展攝譜范圍。251MX內(nèi)置零級(jí)擋板,可在保持真空的前提下調(diào)節(jié)擋板位置,以阻擋零級(jí)光。


產(chǎn)品特點(diǎn)

l 1nm ~ 200nm;

l VLS光柵,整個(gè)像面保持高分辨率;

l 無需掃描,穩(wěn)定、便利;

l 1E-6高真空;超高真空可選;


典型應(yīng)用

l 高次諧波

l 極紫外光源研發(fā)

l 激光等離子體、高溫等離子體、Z-Pinch、磁約束等離子體

l X射線激光,自由電子激光

l 極紫外光學(xué)系統(tǒng)測(cè)試


主要參數(shù)

光學(xué)設(shè)計(jì)

掠入射像差校正平場(chǎng)設(shè)計(jì)

入射角

87°

焦面

25mm

探測(cè)器

可平動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)

波長(zhǎng)范圍

1nm ~ 200nm,取決于光柵

光柵尺寸

50×30mm

光柵支架

雙位,真空下可切換

零級(jí)擋板

標(biāo)配,真空下可調(diào)

狹縫

0.01 ~ 3mm連續(xù)可調(diào);高度可置

真空

標(biāo)準(zhǔn):1E-6 Torr;可選UHV


可選光柵

刻劃密度 (g/mm)

120

300

1200

2400

偏轉(zhuǎn)角(°)

170

170

170

174.4

分辨率(nm)

~0.3

~0.12

~0.028

~0.01

平場(chǎng)范圍(nm)

50~200

20~80

5~20

1~5





測(cè)試示例

251MX curve.png

鎂K線譜(左)與氧K線譜(右,三階)



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