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αL4X-911R1 主動隔振系統(tǒng)（電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用）

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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日本特許機器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備，以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求

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日本特許機器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備，以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。

αL4X-911R1主動式隔振平臺是結(jié)合了空壓（低頻）和線性馬達（高頻）的兩種優(yōu)點，專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計的高精密隔振平臺。

本主動隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細微振動，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項性能。


αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達執(zhí)行器來實現(xiàn)振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

技術(shù)參數(shù)：

名稱

技術(shù)參數(shù)和指標

主動隔振平臺

標準外形尺寸：902×1102×152（浮起時155）mm

其他尺寸可定制

主動隔振單元

內(nèi)含加速度傳感器，位移傳感器及空氣伺服閥。

隔振范圍

0.5Hz~100Hz

隔振效果（值）

0.5Hz~1Hz：≤-20dB

1Hz~10Hz：-20dB ≤-40dB

10Hz以上：≥ -40dB

加速度傳感器

頻率范圍：DC-400Hz

最小分辨率：≤1*10-6m/sec2

耐沖擊參數(shù)：1000m/sec2

位移傳感器

最小分辨率：≤3um

行程范圍：1-5mm

控制器

輸入/輸出控制信號采樣頻率

加速度：2000Hz 位移：125Hz

分辨率 輸入：18bit 輸出：16bit


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