技術(shù)參數(shù):

水平軸的特征：

? 行程長度(Lt)：0. mm to 260 mm

? 定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s

? 測量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測量 推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s

? X方向取樣間距：0.05 μm至30 μm,可調(diào)整

? 每次測量最多測量點：5200000點

? 分辨率：0.8 nm

? X軸測量的不確定度：± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測頭系統(tǒng)特征：

? 測頭測量范圍：26 mm (200 mm測臂)

? 分辨率：0.8mm

? 測量力：0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設置

殘余誤差 Rz0, Rq0：

? vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差：Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical

輪廓：

? 距離測量顯示誤差：± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm

? 半徑測量顯示誤差：(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm