CONTURA可配備固定型被動(dòng)式探頭、靈活的蔡司RDS關(guān)節(jié)式探頭座或主動(dòng)式掃描測(cè)針

CONTURA可配備固定型被動(dòng)式探頭、靈活的蔡司RDS關(guān)節(jié)式探頭座或主動(dòng)式掃描測(cè)針。各類探頭均具有掃描功能。主動(dòng)式探頭采用蔡司navigator技術(shù)。

穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果

根據(jù)配置不同，CONTURA采用工業(yè)陶瓷或CARAT導(dǎo)軌，具有良好的剛性 、較低的熱膨脹性和輕盈的機(jī)身重量。三軸均采用四面環(huán)抱氣浮軸承，可在高速運(yùn)行和加速的條件下保持穩(wěn)定性。懸浮安裝在CONTURA導(dǎo)軌上的玻璃陶瓷光柵尺具有穩(wěn)定特性，因此無(wú)需安裝溫度傳感器或進(jìn)行誤差補(bǔ)償。高等級(jí)的防護(hù)特性使得該機(jī)器可以在生產(chǎn)車間使用。

計(jì)算機(jī)輔助精度修正（CAA)

動(dòng)態(tài)形變的橋架直接影響測(cè)量精度，尤其是在掃描測(cè)量時(shí)更是如此。CONTURA可計(jì)算這一動(dòng)態(tài)效應(yīng)所需的補(bǔ)償值。因此在高速測(cè)量環(huán)境下亦可保證測(cè)量精度。

控制簡(jiǎn)便

用戶無(wú)需計(jì)算機(jī)，只需借助界面友好的控制面板即可對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制。通過(guò)的搖桿可對(duì)所有軸的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行更為便捷與精準(zhǔn)的控制?？稍?/span>CNC模式下對(duì)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

技術(shù)參數(shù)：

長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0

自1.5 + L/350 μm起

測(cè)量范圍