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- 公司名稱 北京杜賀利創(chuàng)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 北京市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/4/1 15:05:26
- 訪問次數(shù) 50
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產(chǎn)品介紹化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng),試劑以氣態(tài)形式(CH4和H2等離子體)提供
化學(xué)氣相沉積 (CVD) 工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng),試劑以氣態(tài)形式(CH4 和 H2 等離子體)提供。
CVD 工藝在真空爐中進(jìn)行,溫度范圍為 600 至 2500 攝氏度。在此過程中,將一片晶種薄片放置在密封室中并加熱到 800 攝氏度左右。然后在該室中填充碳達(dá)到的氣體(CH4 &H2),在這個(gè)過程中,來自氣體的離子被解離,從而增加了石墨烯在襯底上的沉積,即目標(biāo)晶種上的碳和氫等離子體。
一片金剛石的種子放置于高溫高壓的密封容器中。容器里有甲烷等混合氣體。通過微波、激光或其它技術(shù)手段將氣體電離出等離子體,即把氣體中的分子電離后,比較純的碳元素就附著于金剛石的種子表面,逐漸地生長(zhǎng)成晶體。晶體生長(zhǎng)過程中,溫度檢測(cè)是至關(guān)重要的。實(shí)際是要檢測(cè)晶體表面的溫度而非等離子體的溫度(透過等離子體)。
該應(yīng)用程序的挑戰(zhàn)性部分是等離子體發(fā)射特定波長(zhǎng)的紅外能量,我們需要通過等離子體測(cè)量目標(biāo)的一致溫度。 AST 提供基于非接觸式紅外的高溫計(jì),可在等離子體透明的選定波長(zhǎng)下工作。由于 CVD 是一個(gè)耗時(shí)的過程,因此儀器的高精度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。
以色列AST(Accurate Sensors Technology)公司專門設(shè)計(jì)制作的CVD測(cè)溫儀, 可以應(yīng)用于人造金剛石、硅外延生長(zhǎng)、碳化硅晶體爐等,具有內(nèi)置溫度顯示、模擬和數(shù)字輸出、繼電器輸出和參數(shù)設(shè)置按鍵。它的傳感頭非常小,安裝非常方便。隨附的軟件 Infrasoft 可幫助用戶通過 RS 232 或 RS 485 在電腦中連續(xù)記錄過程數(shù)據(jù)。
AST-EG系列 | |
測(cè)量范圍(分段) | 250 ~ 1800°C |
發(fā)射率0.1~0.3%+1 | |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的0.1% + 1 |
主要應(yīng)用 | 退火、軋鋼、焊接、金屬加工、鍛造等 |
瞄準(zhǔn)方式 | 激光 |
熱電偶輸出(選配) | — |
信號(hào)處理 | 峰值保持及跟蹤保持 |
可選配件 | 安裝配件、RS-232/ RS-485接口、其它的電纜長(zhǎng)度 |
特性:
探頭可以承受180℃的環(huán)境溫度
USB2.0數(shù)字輸出
內(nèi)置LCD顯示和設(shè)置面板
RS-232/RS-485串行接口卡
4?20mA、0?20mA或0?10V輸出,K型或J型熱電偶(可選)
繼電器輸出
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