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HERA-DLTS 高能分辨率深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）2

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PhysTech在1990年推出了臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有的能量分辨率。

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PhysTech在1990年推出了臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有的能量分辨率。

半導(dǎo)體的摻雜濃度、缺陷能級(jí)位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金－半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C～t）技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜，是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法，能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過對(duì)樣品的溫度掃描，可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。

特點(diǎn)：

  • 自動(dòng)接觸檢查

  • 常規(guī)測試和加強(qiáng)軟件

  • 自動(dòng)電容補(bǔ)償

  • 三終端FET電流瞬態(tài)測量

  • 大電容和濃度范圍

  • 靈活性高、模塊化硬件

  • 支持各種冷卻倉和溫度控制器

  • 傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

  • DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)

操作模式：


  • C-DLTS

  • CC-DLTS

  • I-DLTS

  • DD-DLTS

  • Zerbst-DLTS

  • O-DLTS

  • FET-Analysis

  • MOS-Analysis

  • ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

  • 缺陷分析

  • 俘獲截面測量

  • I/V, I/V(T)理查森標(biāo)繪圖

  • C/V, C/V(T)

  • TSC/TSCAP

  • PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）

  • DLOS(特殊系統(tǒng))

規(guī)格：



分辨率：

1*108 atoms/cm3

脈沖發(fā)生器

電壓范圍： ±20.4V（±102opt.）
電壓分辨率: 0．625mV
電流: ＞±15mA
脈沖寬度: 1μs-1000s
快速脈沖選配


電容表
HF信號(hào): 100Mv@1MHz(20mV optional)
范圍[pF]: 3,30,300,3000(自動(dòng)或手動(dòng))
電容補(bǔ)償: 0.1-3000 pF（自動(dòng)或手動(dòng)）
靈敏度: 0.01 fF


電壓測量
范圍: ±10V
靈敏度: ＜1μV
輸入電阻: 106Ohm
可提供偏壓補(bǔ)償:

電流測試

范圍:

5，從±1μA 到±10mA

靈敏度:

＜1pA
可提供漏電保護(hù)

瞬態(tài)記錄

樣品速率:

2μs到2000s

樣品數(shù)量:

16-16384（opt.64k）

可調(diào)節(jié)抗失真濾膜



標(biāo)準(zhǔn)冷卻倉
溫度范圍: 15K-450K或77K~800K
溫度掃描方式： 使用28個(gè)不同的相關(guān)功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個(gè)溫度掃描信號(hào)。

典型性能（Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV）
靈敏度: 10-7T/(ND-NA)<10-5
能量精度: HT+/-3%
能量分辨率: 10meV
發(fā)射率: 10-3/s4/s


Options

  • Constant Capacitance

  • Optical Excitation

  • Fast Pulse Interface

  • ±100 V Option

  • Multi Sample Interface

DLTS-01.jpg

IMG_1152.JPG

DLTS.jpg




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