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該設(shè)備主要用于半導體晶圓、封裝，手機顯示模組及有關(guān)產(chǎn)品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下，使用不同的 物鏡對產(chǎn)品進行觀察，對需要測量的位置使用帶光柵的移動平臺結(jié)合數(shù)據(jù)處理軟件進行尺寸測量使用數(shù)字相機進行實時影像處理、觀察以及拍照，實現(xiàn)對產(chǎn)品的尺寸以及外觀檢查。
技術(shù)規(guī)格:Technical specifications
光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) |
觀察頭 | 30°傾斜，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié):50-76mm，兩檔分光比100/0或 0/100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm，可帶測微尺 |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位5孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相DIC物鏡5X 10X 20X 50X 100X |
放大倍率 | 光學放大倍率：50X-1000X |
測量顯微鏡平臺 | 三層機械結(jié)構(gòu)高精度移動載物臺(行程300mm(X)*200(Y)mm175mm； 測量精度，X和Y ：(3+L/200)um, L為測量長度(單位mm) |
照明系統(tǒng) | 明場反射照明器，帶明場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶5WLED 燈源，亮度可調(diào)(含托架適配器) |
電動調(diào)焦方式 | 電動三擋調(diào)節(jié)，精度0.001mm，調(diào)焦距離175mm |
輔助聚焦模塊 | 輔助對焦模塊，帶對焦分劃板 |
偏振光 | 起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
DIC組件 | 微分干涉組件（選配） |
攝像系統(tǒng) | |
其他附件 | 攝影攝像附件：0.65X，C型接口，可調(diào)焦 |
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 | |
USB3.0相機。600萬，1200萬，2000萬像素。 |
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