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二手OLYMPUS MX61顯微鏡

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MX61L產(chǎn)品特點:半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡大型載物臺搭載:300mm晶圓全面檢查(MX61L)采用高NA的透射光聚光鏡

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MX61L 
產(chǎn)品特點:

半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 反射光照明

型號
MX61L型顯微鏡
光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正光學(xué)系統(tǒng))
顯微鏡鏡體
射光照明(F.N. 26.5)
12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配) ,轉(zhuǎn)換使用
內(nèi)置電動孔徑光闌(每個物鏡可預(yù)設(shè),物鏡轉(zhuǎn)換時自動轉(zhuǎn)換,暗視場觀測時自動打開)
觀測方法
①反射光明視場法;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡單偏振法;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
觀察鏡筒
超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型
其它:超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒
超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標準配置)
換鏡轉(zhuǎn)盤
電動五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤,配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測:U-D5BDREMC型
載物臺
MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm
原裝日本精機2軸電動平臺,可以進行XY軸同時聯(lián)動。
帶12寸晶圓載物臺板。
內(nèi)置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz
能耗
體積/重量
體積:約710(寬)×843(長)×507(高)mm
重量:約51kg(載物臺約重31kg)
 


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