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OLYMPUS MX61 LCD顯微鏡

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MX61/MX61L產(chǎn)品特點:半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡大型載物臺搭載:可用于400300mm液晶基板

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MX61/MX61L 
產(chǎn)品特點:

半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 透射和反射照明可同時使用, 極大提高液晶基板觀察效果
MX61
MX61/MX61L詳細規(guī)格:

型號
MX61型顯微鏡
MX61L型顯微鏡
光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正光學(xué)系統(tǒng))
顯微鏡鏡體
射光照明(F.N. 26.5)
12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配) ,轉(zhuǎn)換使用
內(nèi)置電動孔徑光闌(每個物鏡可預(yù)設(shè),物鏡轉(zhuǎn)換時自動轉(zhuǎn)換,暗視場觀測時自動打開)
透射光照明*(F.N. 26.5)
進行透射光照明時要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB。
采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件(12V100W鹵素?zé)簦┗蛲裙庠催M行照射。
MX-TILLA:聚光鏡(N.A. 0.5),帶孔徑光闌
MX-TILLB:聚光鏡(N.A. 0.6),帶孔徑和視場光闌
觀測方法
①反射光明視場法;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡單偏振法;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
觀察鏡筒
超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型
其它:超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒
超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置)
換鏡轉(zhuǎn)盤
電動六孔換鏡轉(zhuǎn)盤,配備滑槽,用于微分干涉襯比法觀測:U-D6REMC型
電動五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤,配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測:U-D5BDREMC型
電動五孔定心換鏡轉(zhuǎn)盤,配備滑槽,用于微分干涉襯比法觀測:U-P5REMC型
通過顯微鏡前面板上的物鏡轉(zhuǎn)換按鈕或直接通過U-HSTR2(用戶)控制轉(zhuǎn)換
載物臺
MX-SIC8R 8英寸×8英寸
行程:210×210mm(透射光照明面積:189 x 189 mm)
MX-SIC6A 6英寸×6英寸
行程:158×158mm(只能使用反射光)
MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸
行程:356×305mm
(透射光照明面積:356×284mm)
與MX-TILLB配合使用
滾柱導(dǎo)塊結(jié)構(gòu),帶式驅(qū)動系統(tǒng)(無齒條) ,離合功能(帶式驅(qū)動脫離系統(tǒng))
能耗
內(nèi)置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz
透射光源(LG-PS2) :100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60 Hz
體積/重量
體積:約509(寬)×843(長)×507(高)mm
重量:約40kg(載物臺約重27kg)
體積:約710(寬)×843(長)×507(高)mm
重量:約51kg(載物臺約重31kg)


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