觀察方式

明場

觀察筒

30°傾斜

正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺ㄓ^察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)

物鏡

無限遠(yuǎn)平場物鏡 5X、10X、20X、50X、100X

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)傾五孔轉(zhuǎn)換器

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

粗微動(dòng)同軸調(diào)焦，行程 29mm

微動(dòng) 0.002mm/ 格，0.2mm/ 圈； 

載物臺(tái)

8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái):

移動(dòng)范圍：200mm×200mm

帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)

17×12英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái):

移動(dòng)范圍：430mm×305mm；

帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)

低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板，（反射用）

晶圓輔助臺(tái)

選配

反射照明系統(tǒng)

明場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調(diào)；檢偏和起偏裝置

攝影攝像

1X攝像接筒，C型接口