D-100 D-200 D-300 D-400數(shù)字式電容位移傳感器
線性度高達(dá)滿量程的 0.01%
具有亞納米級(jí)別的分辨率
的功能
1、具有行業(yè)中的分辨率，線性度高達(dá) 0.01%
2、不需要模數(shù)轉(zhuǎn)化器
3、通過(guò)網(wǎng)線或者 USB 線纜自動(dòng)連接
4、所有的通道同時(shí)測(cè)量可高達(dá) 20kHz 的采樣速度
5、測(cè)量范圍可調(diào)，一個(gè)探頭，多個(gè)測(cè)量范圍，可以通過(guò)軟件，將數(shù)據(jù)保存為csv文件，可以通過(guò)軟件進(jìn)行靈活的濾波和平均控制。
具有數(shù)字化接口設(shè)計(jì)系列的放大器，它使用的技術(shù)將一個(gè)高度可靠的電容式電場(chǎng)測(cè)量（位移）直接轉(zhuǎn)化為一個(gè)高度精確的位移數(shù)字信號(hào)。
電容位移傳感器的應(yīng)用
顯微鏡聚焦 ?鏡頭的對(duì)準(zhǔn) ?測(cè)量零件的外形 ?測(cè)量零件的傾斜 ?測(cè)量半導(dǎo)體硅片的厚度 ?測(cè)量壓電平臺(tái)的位移 ?測(cè)量振動(dòng) ?測(cè)量電腦硬盤運(yùn)行和厚度 ?測(cè)量剎車盤的翹曲和厚度 ?測(cè)量金屬板的厚度 ?測(cè)量光伏晶圓
MTI 標(biāo)準(zhǔn)探頭的特點(diǎn)
● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130oC -- 200oC (也有高溫探頭，在下一頁(yè)有介紹)
● 連接頭的使用溫度范圍: -65oC -- 85oC
● 精度: 高于滿量程的±0.02% （當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過(guò)和被測(cè)物校準(zhǔn)后）
● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz
● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel
● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程
● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒(méi)有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的情況下互換）
● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)
● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒(méi)有電子元器件
● 帶線纜的探頭，同軸電纜長(zhǎng)度: 2.4m (可選延長(zhǎng)線纜.)
型號(hào) ASP-1-ILR |
量程 | 2擴(kuò)展量程 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭長(zhǎng)度L |
最小范圍 |
µm 25.4 |
10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 |
ASP-2-ILR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540 |
ASP-5-ILR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 |
ASP-10-ILR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 |
ASP-20-ILR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 |
ASP-50-ILR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 |
ASP-100-ILR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 |
ASP-200-ILR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 |
型號(hào) ASP-25M-CTR |
量程 | 2擴(kuò)展范圍 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭長(zhǎng)度L |
最小范圍 |
µm 25.4 |
10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 9.53 | mm 25.40 | µm 1.270 |
ASP-50M-CTR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 9.53 | 25.40 | 2.540 |
ASP-125M-CTR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 9.53 | 25.40 | 6.350 |
ASP-250M-CTR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 9.53 | 25.40 | 12.700 |
ASP-500M-CTR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 11.13 | 25.40 | 25.400 |
ASP-1250M-CTR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 25.40 | 63.500 |
ASP-2500M-CTR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 25.40 | 127.000 |
產(chǎn)品型號(hào) ASP-1-ILA |
量程 | 2擴(kuò)展范圍 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭長(zhǎng)度L |
最小范圍 |
µm 25.4 |
10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 |
ASP-2-ILA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540<,/,SPAN> |
ASP-5-ILA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 |
ASP-10-ILA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 |
ASP-20-ILA | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 |
ASP-50-ILA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 |
ASP-100-ILA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 |
ASP-200-ILA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 |
型號(hào) ASP-0.5-CTA |
量程 | 2擴(kuò)展范圍 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭長(zhǎng)度L |
最小范圍 |
µm 12.7 |
20 | µm/V 1.27 | mm 0.74 | mm 6.35 | mm 63.50 | µm 0.635 |
ASP-25M-CTA | 25.4 | 10 | 2.54 | 1.09 | 6.35 | 63.50 | 1.270 |
ASP-50M-CTA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 6.35 | 63.50 | 2.540 |
ASP-125M-CTA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 6.35 | 63.50 | 6.350 |
ASP-250M-CTA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 6.35 | 63.50 | 12.700 |
ASP-500M-CTA | 508.0 | 5 | 50.80 | 5.00 | 11.10 | 63.50 | 25.400 |
ASP-1250M-CTA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 63.50 | 63.500 |
ASP-2500M-CTA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 63.50 | 127.000 |
ASP-5000M-CTA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 101.60 | 254.000 |
ASP-500-CTA | 12700.0 | 1 | 1270.00 | 25.22 | 82.55 | 101.60 | 635.000 |
型號(hào) ASP-1-PCA |
量程 | 2擴(kuò)展范圍 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭長(zhǎng)度L |
最小范圍 |
µm 25.4 |
10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 |
ASP-2-PCA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 |
ASP-5-PCA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 |
ASP-10-PCA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 |
ASP-20-PCA | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 |
ASP-50-PCA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 |
ASP-100-PCA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 |
型號(hào) ASP-1-PCR |
量程 | 2擴(kuò)展范圍 |
感度 |
感測(cè)直徑E |
探頭直徑D |
探頭直徑L |
最小范圍 |
µm 25.4 |
10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 |
ASP-2-PCR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 |
ASP-5-PCR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 |
ASP-10-PCR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 |
ASP-20-PCR | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 |
ASP-50-PCR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 |
ASP-100-PCR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 |
ASP-200-PCR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 5.08 | 254.000 |
