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MTI proforma300i硅片測量儀

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MTI硅片測量儀硅片尺寸76-300mm高分辨率LCD顯示快速、易于設(shè)置的菜單5點測量,厚度變化量以及彎曲度測量網(wǎng)口以及RS232電腦接口前方的USB接口方便存儲數(shù)據(jù)可達(dá)1700µm的測量范圍Proforma300iProforma300GiProforma300OEMi1精度2:±0

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                                             MTI硅片測量儀

 硅片尺寸76-300 mm  高分辨率 LCD 顯示  快速、易于設(shè)置的菜單

5點測量, 厚度變化量以及彎曲度測量 網(wǎng)口以及RS232電腦接口 前方的USB接口方便存儲數(shù)據(jù) 可達(dá)1700µm的測量范圍  




Proforma 300i

Proforma 300Gi

Proforma 300

OEMi 1

精度2:

±0.25 µm

可重復(fù)性3:

±0.25 µm

分辨率:

0.05 µm

電壓輸入 (電壓):

100 to 240VAC

電壓輸入 (頻率):

50 to 60Hz

電力輸入 (功率):

50 W

使用溫度范圍:

15 to 40oC

響應(yīng)時間:

60ms

客戶

尺寸(長x寬x高):

482x330x279 mm

483x388x89 mm

數(shù)據(jù)接口

RS232, 網(wǎng)口, USB, LCD

RS232, 網(wǎng)口

可支持的材料4:

Si




Ge




InP




GaAs




重量:

12.3 kg

12.4 kg

5.9 kg



  ProformaTM  300i – 手動晶圓測量工具

Proforma 300i使用MTI專有的快速、準(zhǔn)確、可靠的非接觸式PUSH-PULL電容探頭。Proforma 300i可測量直徑是300mm硅片的厚度, 總厚度變化以及彎曲度



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