Filmetrics-F40薄膜厚度測量儀

結(jié)合顯微鏡的薄膜測量系統(tǒng)

Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系統(tǒng)                                  Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系統(tǒng)

Filmetrics的精密光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。

當(dāng)測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行，或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時(shí)，F(xiàn)40是選擇。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡，再進(jìn)行測量，即可獲得精準(zhǔn)的厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件，F(xiàn)40就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭，可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。

* 取決于材料

1.使用5X物鏡參考

2.是基于連續(xù)20天，每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2 薄膜樣品連續(xù)測量100次所得厚度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值

3.是基于連續(xù)20天，每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2薄膜樣品連續(xù)測量100次所得厚度值的2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值

選擇Filmetrics的優(yōu)勢

• 桌面式薄膜厚度測量的

• 24小時(shí)電話，和在線支持

• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件

附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費(fèi)離線分析軟件

• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效地存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果

相關(guān)應(yīng)用

半導(dǎo)體制造                              生物醫(yī)學(xué)原件

? 光刻膠                               ? 聚合物/聚對二甲苯

? 氧化物/氮化物                          ? 生物膜/球囊壁厚度

? 硅或其他半導(dǎo)體膜層                       ? 植入藥物涂層

微電子                                液晶顯示器

? 光刻膠                               ? 盒厚

? 硅膜                                 ? 聚酰亞胺

? 氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                     ? 導(dǎo)電透明膜