AMTEK公司專門從事納米測(cè)量和分析設(shè)備的防振系統(tǒng)，于2007年成功地將韓國的個(gè)主動(dòng)防振系統(tǒng)商業(yè)化。
該系統(tǒng)可以靈活地應(yīng)用于所有類型的納米測(cè)量和分析設(shè)備，以幫助您獲得最準(zhǔn)確的結(jié)果。
一、概述
激光-光學(xué)測(cè)量是一個(gè)微妙的過程，要求一致性、精確性和隔振能力.測(cè)量要求在隔離地板振動(dòng)的同時(shí)，保持光學(xué)零件的精確和一致的位置。這就要求光學(xué)面包板的動(dòng)態(tài)剛度和有效的減振系統(tǒng)本身。
在10 Hz以下的低頻范圍內(nèi)隔離振動(dòng)輸入，VAIS-PT將提供的、穩(wěn)定的光-激光測(cè)試環(huán)境。
二、技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1）氣動(dòng)支架
氣動(dòng)支撐架進(jìn)一步增強(qiáng)了VAIS-PT對(duì)非周期脈沖振動(dòng)的穩(wěn)定性.
2）Floor Feed-Forward控制
利用feedback和floor feed-forward 控制，VAIS-PT具有很好的防止建筑物結(jié)構(gòu)共振引起的低頻振動(dòng)干擾的能力。
3）LED狀態(tài)指示燈
前面板上有三盞LED燈(紅色、綠色、藍(lán)色)，可方便地顯示振動(dòng)狀態(tài)、環(huán)境變化和使用性能。
4）數(shù)字控制系統(tǒng)
該數(shù)字控制器提供了方便的用戶界面、設(shè)置參數(shù)修改和系統(tǒng)診斷。
5）遠(yuǎn)程支持
AMTEK為方便的性能診斷和技術(shù)支持提供了遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)支持。
支撐架 | 氣動(dòng)（壓縮空氣）彈簧 |
控制頻率范圍 | 0.5Hz~1000Hz |
光學(xué)top | 蜂窩芯面板頂 |
可控制的自由度 | 3軸6自由度（全主動(dòng)系統(tǒng)） |
驅(qū)動(dòng)力 | 垂直方向：15N；水平方向：10N |
應(yīng)用控制器 | Feedback & Floor Feed-Forward |
高度調(diào)節(jié) | 3個(gè)機(jī)械閥門自動(dòng)調(diào)節(jié) |
所需氣壓 | 超過0.5MPa |
輸入電壓 | AC 90~230V/50~60Hz |
三、規(guī)格
型號(hào)名稱 | 面板尺寸 | 型號(hào)名稱 | 面板尺寸 |
PT-1010(M/I/N)-100 | 1000(W)x1000(L)x100(T) | PT-1812(M/I/N)-200 | 1800(W)x1200(L)x200(T) |
PT-1210(M/I/N)-100 | 1200(W)x1000(L)x100(T) | PT-2010(M/I/N)-200 | 2000(W)x1000(L)x200(T) |
PT-1212(M/I/N)-100 | 1200(W)x1200(L)x100(T) | PT-2012(M/I/N)-200 | 2000(W)x1200(L)x200(T) |
PT-1510(M/I/N)-100 | 1500(W)x1000(L)x100(T) | PT-2410(M/I/N)-200 | 2400(W)x1000(L)x200(T) |
PT-1512(M/I/N)-100 | 1500(W)x1200(L)x100(T) | PT-2412(M/I/N)-200 | 2400(W)x1200(L)x200(T) |
1）可根據(jù)要求定制尺寸；
2) 型號(hào)選擇指南: PT-WD(M/N)-T；
**** wd:光學(xué)面包板寬度(W)x長(zhǎng)度(D)[mm]。
**** M/I/N:安裝孔型-M(公制)/I(英寸)/N(無孔)。
**** T:面包板厚度單位為[mm]。
3) 面包板的標(biāo)準(zhǔn)厚度: 50-300[mm]；
4)對(duì)于寬度大于1500mm的面包板,我們建議厚度為至少大于200mm。
四、性能
主動(dòng)隔振框架的隔振性能
共振范圍（>1Hz） | 不存在 |
頻域的隔離效果 |
2Hz | -15dB（70% 隔離） |
5Hz | -30dB（85%隔離） |
10Hz | -35dB~-40dB（99%隔離） |
20Hz~ | -35dB~-40dB（99%隔離） |
五、應(yīng)用展示
1）應(yīng)用指南
(1) 在激光光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，光學(xué)元件在光面上的精確和一致的位置是至關(guān)重要的。然而，考慮振動(dòng)輸入的幅值和特性的抗振系統(tǒng)卻很少引起人們的興趣.
(2) 光學(xué)支撐架的選擇對(duì)激光光學(xué)實(shí)驗(yàn)的組成和精度至關(guān)重要。氣動(dòng)被動(dòng)隔震系統(tǒng)對(duì)低頻振動(dòng)的隔離效果不如高頻隔振系統(tǒng).
(3) VAIS-PT是專門為激光光學(xué)實(shí)驗(yàn)開發(fā)的。光學(xué)面包板的設(shè)計(jì)考慮了剛度、平整度和可重復(fù)性，氣動(dòng)主動(dòng)隔離系統(tǒng)隔離了所有頻率的振動(dòng)。
2）可配套使用的儀器
（1）激光光測(cè)量?jī)x器
（2）AFM-Raman系統(tǒng)儀器
（3）干涉儀儀器
（4）精密測(cè)量與分析儀器
