簡介

制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進行缺陷檢測。

可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網(wǎng)上料處以及離線設備，結(jié)合客戶端現(xiàn)有設備實現(xiàn)剔除。

采用了特殊定制相機和神經(jīng)網(wǎng)絡算法相結(jié)合，可快速、準確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。

采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產(chǎn)電池片各個工藝過程中的碎片率，是分析工藝問題、提高成品率、降低成本的視覺檢測設備。為產(chǎn)品質(zhì)量提供了可靠的保障。

                         過程片

產(chǎn)品特性

產(chǎn)能大于4500片/小時

兼容多尺寸片源，更換尺寸無需更換硬件，降低人力及耗材成本

無接觸式檢測，不會對過程片造成二次損傷

提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本                                                                            

自動統(tǒng)計各類缺陷、良品數(shù)量及比例

適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序

技術(shù)指標

缺陷對比圖