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雙管全自動立式爐（PI Cuer，退火，合金）

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

該廠商其他產(chǎn)品

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產(chǎn)品用途：集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。

詳細(xì)信息 在線詢價

產(chǎn)品特點：

   1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時間；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

   3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

   4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


技術(shù)參數(shù)：

型號

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處理產(chǎn)品

8/12inch 晶圓

處理量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

4個 

機(jī)械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 350℃，溫度：750℃

升溫速率

＜8℃/min

降溫速率

＜7℃/min

加熱功率

30kW(單爐)*2

加熱溫區(qū)

3個*2

爐溫均勻性

±2℃（350℃恒溫）

控溫?zé)崤?/span>

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料

石英

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調(diào)節(jié)進(jìn)氣

流量計量程：

1）0-150L/min  氮氣

2）0-40L/min  氧氣

氣氛

N2/O2

排氣系統(tǒng)

在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收



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