技術(shù)參數(shù)濾波器:高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器測量重復(fù)性:4%技術(shù)參數(shù)相對示值誤差:±7%測量長度:λc╳3、4、5、6、7測量范圍:640μm分辨率：0.001μm測量速度：0.1mm/s

技術(shù)參數(shù)

• 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器

• 測量重復(fù)性: 4%

技術(shù)參數(shù)

相對示值誤差: ±7%

測量長度: λc ╳3、4、5、6、7

測量范圍: 640μm

分辨率 ： 0.001μm

測量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度： 1mm/s（自動）

測量方式：傳感器移動式

測量功能

Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv