初項(xiàng)可達(dá)0.28微米的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)  LEGEX

主體基座采用球墨鑄鐵的封閉式結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了高剛性、高振動(dòng)衰減性。還運(yùn)用FEM構(gòu)造分析模擬應(yīng)力分析，將負(fù)重形變量降低到較低程度，確保幾何學(xué)動(dòng)態(tài)精度。

開發(fā)了Y軸導(dǎo)軌與主體基座一體化結(jié)構(gòu)。

Y軸導(dǎo)軌，X軸橫梁，Z軸主軸滑動(dòng)部分進(jìn)行陶瓷–等離子噴涂處理，形成空氣軸承滑動(dòng)適合的表面。實(shí)現(xiàn)了耐銹蝕性和抗腐蝕性。

LEGEX的主體結(jié)構(gòu)快速衰減移動(dòng)時(shí)的殘留振動(dòng)，大幅度減少因振蕩產(chǎn)生的波動(dòng)幅度。

X軸和Y軸是獨(dú)立的構(gòu)造，X軸的移動(dòng)對(duì)Y軸導(dǎo)軌沒有任何影響。

LEGEX通過“如果橋式結(jié)構(gòu)移動(dòng)產(chǎn)生誤差，讓橋結(jié)構(gòu)不移動(dòng)就好了”的逆向構(gòu)思，大幅度控制阿貝誤差采用了橋固定工作臺(tái)移動(dòng)結(jié)構(gòu)。

標(biāo)配專用的高性能帶有自動(dòng)調(diào)水平功能的“空氣阻尼彈簧減振器”。

驅(qū)動(dòng)由滾珠絲桿+DC伺服電機(jī)來(lái)進(jìn)行，采用了一個(gè)特殊的浮動(dòng)機(jī)構(gòu)以鏈接滾珠絲杠與導(dǎo)向塊。  

配置新開發(fā)的無(wú)熱膨脹的線膨脹系數(shù)0.1x10^-6/攝氏度的結(jié)晶玻璃尺，與分辨力為0.01微米的發(fā)射型編碼器相結(jié)合的高精度測(cè)長(zhǎng)單元。

確保18至22攝氏度的溫度范圍內(nèi)的精度。