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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)

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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)可對樣品進(jìn)行49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描等測試

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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)
可對樣品進(jìn)行49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描等測試；統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)生成2D和3D的map圖；
屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性；
真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；
一體化嵌入式設(shè)計，觸控電腦屏幕操作，手指點點就可以完成操作；
RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過全自動測試系統(tǒng)，對晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術(shù)，將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測量，其最后計算結(jié)果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對測量結(jié)果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結(jié)果的影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。
RTS-1389型全自動四探針軟件測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進(jìn)行各項測試操作，把采集到的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，然后把測試數(shù)據(jù)以Excel表格，2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，
技　術(shù)　指　標(biāo) ：
測量范圍
 電阻率：10-5～105 Ω.cm；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□；
可測晶片尺寸
 2英寸～12英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm）
恒流源
 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔
采樣電壓范圍
 量程:000.00～199.99mV；(低阻擴(kuò)展時,量程：00.000～19.999mV)　　　　
分辨力：10μV；（低阻擴(kuò)展時，分辨力：1μV）
輸入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.1%；
四探針探頭基本指標(biāo)
 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
模擬電阻測量相對誤差
 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2%
整機(jī)測量相對誤差
 （用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3% (23℃)
重復(fù)性
 ≤±0.5%
最小去邊距離
 3mm
自動測試選點方式
 49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描。
測試數(shù)據(jù)處理
 以Excel格式文件表格記錄測試數(shù)據(jù)，并生成2D、3D的 map圖。用戶可對采集的數(shù)據(jù)在Excel中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析。
屏蔽和吸附測試
 對樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測試，消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性。
外形尺寸
 580mm×475mm×450mm（深×寬×高）
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
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