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HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)

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HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)測試樣品電阻率、方塊電阻、電阻在不同溫度時的數(shù)值,并繪出數(shù)值隨溫度變化的曲線

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HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)

測試樣品電阻率、方塊電阻、電阻在不同溫度時的數(shù)值,并繪出數(shù)值隨溫度變化的曲線;
當不使用溫控功能測試時,可用作常規(guī)四探針測試;
HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)主要用于材料在不同溫度時導電性能的評估和測試,分析被測樣品電阻率、方塊電阻、電阻隨溫度變化的數(shù)據(jù)和曲線。該儀器運用四探針測量原理,按照四探針測試方法的國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的。
儀器由四探針測試儀、溫控系統(tǒng)、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對材料的電阻性能測試。
HTS-100型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
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技 術 指 標
測量范圍
電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展);
電導率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω;
溫控范圍
常溫~100℃(可擴展)
溫控精度
±1℃
恒流源
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
四探針探頭基本指標
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
模擬電阻測量相對誤差
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%
整機測量相對誤差
(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標準不確定度
≤4%
測試標準和方式

可選用單電測測試方法或雙電測測試方法兩種方法進行溫控測試,當不使用溫控功能測試時,可用作常規(guī)四探針測試。

軟件功能
軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)值、最小值、平均值、百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成隨溫度變化的曲線圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
標準使用環(huán)境
無高頻干擾;
無強光直射;
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