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SPR3000系列 粗糙度輪廓儀

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產(chǎn)品風(fēng)格：輪廓儀 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：產(chǎn)品概述：落地式結(jié)構(gòu)，一體化多層防震結(jié)構(gòu)3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。搭載溫度傳感器儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實(shí)時(shí)顯示外界溫度，可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。大量程高精度輪廓傳感器 輪廓測(cè)量·高精度傳感器指示精度：(0.6+|0.1H|)μm 自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器粗糙度測(cè)量·高分辨率傳感器指示精度：(5nm+2.5%)產(chǎn)品參數(shù)：項(xiàng)目規(guī)格 測(cè)量范...

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產(chǎn)品概述：

落地式結(jié)構(gòu)，一體化多層防震結(jié)構(gòu)

3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。


搭載溫度傳感器

儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實(shí)時(shí)顯示外界溫度，可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。


大量程高精度輪廓傳感器

 2.jpg

輪廓測(cè)量·高精度傳感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm

 

自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器

3.jpg

粗糙度測(cè)量·高分辨率傳感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)

4.jpg


產(chǎn)品參數(shù)：

項(xiàng)目規(guī)格
  測(cè)量范圍  X軸0-220mm可選
  Z軸0-620mm可選
  Z1軸C：0-±30mm可選/R：±620μm
  Z1輪廓指示精度≤±（0.6+|0.1H|）μm
  Z1粗糙度指示精度≤±（5nm+2.5%）



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