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詳細(xì)信息產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)垂直量程:±25μm、±200μm系統(tǒng)分辨率:滿量程8納米顯示分辨率:0

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詳細(xì)信息
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

垂直量程:±25μm、±200μm

系統(tǒng)分辨率:滿量程8納米

顯示分辨率:0.001μm

針尖半徑:2μm或5μm

濾波方式:GAUSS、2RC、ISO13565

標(biāo)準(zhǔn):IOS1997、ANSI、JIS2001

取樣長度:L/驅(qū)動(dòng)速度Vt

L=0.08mm/Vt=0.25mm/s

L=0.25mm/Vt=0.25mm/s

L=0.8mm/Vt=0.5mm/s

L=2.5mm/Vt=1mm/s

返程速度均為1mm/s

評(píng)定長度Ln:Ln=(1-5)L

示值誤差/示值重復(fù)性:10%/6%

測量參數(shù):Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr1、A1、A2

工作環(huán)境:溫度0℃ ~ 40℃;濕度< 90% RH

存儲(chǔ)環(huán)境:溫度-40℃ ~ 60℃;濕度< 90% RH

外形尺寸和重量:156×75×53mm,760g

傳感器驅(qū)動(dòng)套:29×26×120mm

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī);傳感器;驅(qū)動(dòng)器;充電器;樣塊;

可選附件:其他傳感器;測量平臺(tái);

操作示意圖


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