輸入功率

• 110V / 220V 通用
• < 2000W (含真空泵)

輸出功率

• 1600VDC
• zui大電流50mA 

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品臺(tái)

• 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 基片可以放在樣品臺(tái)上，可以移動(dòng)三個(gè)位置 
• 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)（zui高溫度可到500℃）
• zui長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5分鐘

控制面板

• 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
• 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置和基片加熱溫度

真空泵（選配）
 

• VRD-8 120L/M旋片式真空泵（選配）
• KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
• 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
• 各種高純度金屬靶
• 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 （這個(gè)我們不提供）

進(jìn)氣口

一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

靶材

• 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
• 經(jīng)試驗(yàn)證明此款儀器可濺射的靶材：Au、Ag、Pt、Cr和Ni
• 不可濺射靶材：氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等
• 可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接

 外形尺寸
  

• 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
• 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

   Certified