測(cè)量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長(zhǎng)

400 nm - 1100 nm

主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度

• 氧化物
• 氮化物
• 光刻膠
• 半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等）
• 半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）
• 硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）
• 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
• 金屬膜（點(diǎn)擊圖片可查看詳細(xì)資料）
•   

特點(diǎn)

• 測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行，可測(cè)量單層膜，多層膜，無(wú)基底和非均勻膜
• 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
• 體積較小，方便擺放和操作
• 可測(cè)量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度
• 使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測(cè)量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測(cè)器

• 400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍
• 光譜分辨率: < 1 nm
• 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
• 

光源

• 5W的鎢鹵素?zé)?/span>
• 色溫：2800K
• 使用壽命:1000小時(shí)

反射探針

• 光學(xué)纖維探針，400um纖維芯
• 配有分光儀和光源支架

載樣臺(tái)

測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品
 

通訊接口

USB接口，方便與電腦對(duì)接

TFCompanion軟件

• 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率，K：消失系數(shù)）
• 誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性
• 可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系
• 

設(shè)備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg