全自動探針臺SemiProbe采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性模塊化結構設計，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設備資金和費用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應用需求，為客戶提供了非常經濟適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L可隨著測試環(huán)境和測試條件的改變進行現(xiàn)場升級以滿足新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L 也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和少的費用完成測試。

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 產品描述：

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性模塊化結構設計，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設備資金和費用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應用需求，為客戶提供了非常經濟適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L的模塊化結構設計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進行現(xiàn)場升級，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L 也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和少的費用完成測試。

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 PILOT控制軟件：

SemiProbe的全自動探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進行操作，軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構化設計。PILOT 軟件包是一款模塊化、直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上，客戶可增添控制模塊來增加額外功能和附件。其一般的功能比如2點校準，功能強大且易操作——甚至不經常操作設備的用戶也非常容易上手。

技術參數(shù)（型號：PS4L FA-6）：

• 產品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm
• 重量：240Kg
• 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盤X-Y軸軌道： NEMA 17步進電機，光學線性編碼器
• 行程:155*155mm（可升級）
• 速度：50mm/s(大)
• 平面性:±8μm
• 分辨率:0.1μm
• 精度：±3μm
• 重復性：±0.5μm
• 卡盤Z軸軌道：行程：15mm
• 分辨率：0.5μm
• 重復性：±1.5μm
• θ移動：行程：±4°（可定制）
• 分辨率:0.00001°
• 卡盤類型：真空或機械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等
• 壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔
• 360度機械手放置
• 壓盤位移：可選擇固定和線性調節(jié)
• 線性調節(jié)范圍：40mm粗調，200um微調

可選配件：

包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺，暗箱。