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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發(fā)射電子槍，進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。

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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。
近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發(fā)射電子槍，進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。

  • 特點(diǎn)

  • 技術(shù)指標(biāo)

特點(diǎn)

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

  • HAADF-STEM圖像0.136 nm，F(xiàn)FT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
  • HAADF-STEM圖像0.144 nm(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
  • 明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍

  • 元素面分布更迅速及時(shí)
  • 低濃度元素檢測

操作簡化

  • 自動(dòng)圖像對中功能

從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無縫連接

  • 樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容

配有各種選購件可執(zhí)行各種評估和分析操作

  • 同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
  • 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至低)
  • 高精度放大校準(zhǔn)和測量*
  • 實(shí)時(shí)衍射單元*(同時(shí)觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
  • 采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿(360度旋轉(zhuǎn))*，具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。
  • ELV-3000即時(shí)元素面分布系統(tǒng)*(同時(shí)獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)
* ：
選購件

技術(shù)指標(biāo)

HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡

項(xiàng)目描述
圖像分辨率w/o球差校正儀保證 0.204 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí))
w球差校正儀保證 0.144 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
保證 0.136 nm(HAADF圖像)
保證 0.105 nm(通過FFT)(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭*)
放大倍數(shù)100倍 至 10,000,000倍
加速電壓200 kV, 120 kV *
成像信號(hào)明場掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像(TE圖像)
暗場掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像(Z襯度圖像)
二次電子圖像(SE圖像)
電子衍射*
特征X射線分析和面分布(能譜分析)*
電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)*
電子光學(xué)系統(tǒng)電子源肖特基發(fā)射電子源
冷場致發(fā)射器*
照明透鏡系統(tǒng)2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀*六極鏡頭設(shè)計(jì)
掃描線圈2-段式電磁感應(yīng)線圈
原子序數(shù)襯度收集角控制投影鏡設(shè)計(jì)
電磁圖像位移±1 µm
試片鏡臺(tái)樣品移動(dòng)X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜單軸-傾斜樣品桿：±30°(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*)
真空系統(tǒng) 3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP
極限真空10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室)
圖像顯示個(gè)人電腦／操作系統(tǒng)PC/AT兼容, Windows® XP
監(jiān)視器19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度快掃，慢掃(0.5至320秒/幀)
自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示記錄序號(hào)，加速電壓，下標(biāo)尺，日期，時(shí)間
*
選購件

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