特點(diǎn)

核心理念

1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
   SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢的樣品。大開(kāi)倉(cāng)設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸大移動(dòng)距離為135×100 mm，重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問(wèn)題。

   相機(jī)導(dǎo)航功能^(*)

   

   通過(guò)相機(jī)拍攝樣品

   　　　　　　將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫(huà)面上進(jìn)行導(dǎo)航

   SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)^(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫(huà)面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。大適用尺寸為φ 100 mm。

   (*)

   可選配相機(jī)。

   支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)

   SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測(cè)器）、UVD、MD等各種探測(cè)器^(**)。

   

   

   低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
   左圖為通過(guò)MD（背散射電子），右圖為通過(guò)UVD（二次電子）探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

   

   

   PD-BSED：響應(yīng)速度提高
   左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫(huà)質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。

   (**)

   可選配PD-BSED、UVD。

規(guī)格

*1

為選配項(xiàng)。

*2

支持雙屏顯示。

安裝布局