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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。*1*Regulus8240/8230/8220

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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

*1
*Regulus8240/8230/8220

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

特點(diǎn)

  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
  • 運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

 
*2
*Regulus8240/8230/8220

規(guī)格

項(xiàng)目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
（加速電壓15 kV）
0.8 nm
（著陸電壓1 kV）*3		0.6 nm（加速電壓 15 kV）
0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓0.1～2 kV0.01～20 kV
放大倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4
樣品臺(tái)樣品臺(tái)控制3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
R360°
T-5～70°
Z1.5～30 mm1.5～40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3
減速模式下觀察
*4
以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率

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  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
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