MS350系列光譜儀是一款通用型儀器，該儀器具有很大的焦平面，既可以作為單色儀也可以作為光譜儀實(shí)用。MS520為全自動(dòng)譜儀其焦距為350mm，F(xiàn)/# 為1/3.8，有多種光柵可選，其光譜范圍從185nm到60μm。
MS350系列譜儀基于C-T非對(duì)稱光學(xué)設(shè)計(jì)，它能有效較少畸變和阻止來(lái)自光柵及鏡面的光線再次入射到譜儀內(nèi)部。MS3501i和MS3504i系列擁有像散校正功能的光學(xué)元件，可以用于多通道的光譜應(yīng)用。
MS3504和MS3504i系列擁有1個(gè)可自動(dòng)切換光柵（可安裝4片光柵）的塔輪，該功能能保證系統(tǒng)在高重復(fù)頻率設(shè)置波長(zhǎng)和垂直圖片時(shí)快速切換(見(jiàn)下圖）
MS3501和MS3501i系列擁僅有1個(gè)手動(dòng)更換光柵的位置支架。（見(jiàn)下圖）有多種可以選擇的光柵，這些光柵能保證系統(tǒng)達(dá)到高效率的組合及很高的光譜分辨率。
MS350系列單色光譜儀擁有一個(gè)入射口和兩個(gè)出射口，系統(tǒng)里面有一個(gè)自動(dòng)的鏡子能實(shí)現(xiàn)選擇從哪個(gè)出射口輸出。無(wú)論是哪個(gè)出射口都可以安裝出射光譜狹縫或者是多通道探測(cè)器。
SOL提供MS350系列單色光譜儀兩種類(lèi)型的入射及出射光譜狹縫：手動(dòng)模式（用千分尺螺桿手動(dòng)操作）和自動(dòng)模式（手動(dòng)和自動(dòng)組合的）。
MS350系列譜儀有多種附件可以選擇，比如濾波片輪FWS-8A，告訴快門(mén)，光纖適配器，探測(cè)器等。
由于其優(yōu)異的的光學(xué)性能，靈活的配置及多種光柵選擇，MS350系列光譜儀在所有譜儀產(chǎn)品是zui流行的。
MS350系列各型號(hào)對(duì)比：
| MS3501 | MS3501i | MS3504 | MS3504i |
衍射單元 | 單一的可手動(dòng)更換光柵的位置支架 | 單一的可手動(dòng)更換光柵的位置支架 | 四光柵塔輪 | 四光柵塔輪 |
光學(xué)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn) | 像散補(bǔ)償（成像） | 標(biāo)準(zhǔn) | 像散補(bǔ)償（成像） |
備注：MS3501和MS3504使用標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)，平面入射偏轉(zhuǎn)鏡；MS3501i和MS3504i使用柱面鏡用作入射偏轉(zhuǎn)。
光學(xué)系統(tǒng) |
光學(xué)設(shè)計(jì) | C-T非對(duì)稱光學(xué)結(jié)構(gòu) |
接口 | 1個(gè)輸入，2個(gè)輸出 |
波長(zhǎng)范圍 | 185nm-60μm |
F/#（入射） | 1/3.8 |
焦距（出射） | 350mm |
掃描范圍 | 0-1280nm（@ 1200l/mm） |
聚焦鏡 | 球面鏡 |
散射光 | 1×10-5（20nm@激光波長(zhǎng)632.8nm） |
焦平面 | 28×10mm |
成像（*于MS3501i和MS3504i） |
水平放大 | 1.09 |
垂直方大 | 1.49 |
垂直空間分辨率 | < 35μm |
驅(qū)動(dòng) |
馬達(dá) | 微步進(jìn)電機(jī) |
驅(qū)動(dòng) | 蝸桿 |
步長(zhǎng) | 1,62 角秒 |
精度 | ±1 步長(zhǎng) |
zui大速度 | 10 000步長(zhǎng)/秒 |
光學(xué)參數(shù) |
備注：1200l/mm，狹縫15μm，546nm |
色散倒數(shù) | 2.37nm/mm |
光譜分辨率 |
PMT(狹縫寬度10μm） | 0.06nm |
數(shù)碼相機(jī)（12μm/p） | 0.07nm |
重復(fù)性 | ±0.03nm |
波長(zhǎng)精度 | ±0.125nm |
平均掃描步長(zhǎng) | 0.01nm |
光柵 |
尺寸 | 70×70×10mm |
旋轉(zhuǎn) | 光柵工作表面 |
定位 | 4光柵塔輪或1光柵支架 |
光柵切換波長(zhǎng)重復(fù)性 | ±0.03nm（@4光柵） |
光柵切換垂直成像重復(fù)性 | ±50μm（@4光柵） |
光柵切換波長(zhǎng)重復(fù)性 | ±0.05nm（@1光柵） |
光柵切換垂直成像重復(fù)性 | ±75μm（@1光柵） |
接口 |
入/出射口 | 1個(gè)輸入，1或2個(gè)輸出 |
出射口重復(fù)性（自動(dòng)） | ±0.03nm |
切換時(shí)間 | 4s |
光譜狹縫 |
寬度 | 自動(dòng)（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）或手動(dòng)（千分尺） |
平行度 | 0-20mm,±1μm |
精度（縫寬 1mm） | ±10μm |
重復(fù)性 | ±1μm（±1.5μm@手動(dòng)） |
讀出精度（千分尺） | 2μm |
步長(zhǎng) | 0.5μm |
高度 | 0-10mm |
集成快門(mén) |
透光率（快門(mén)關(guān)閉） | <0.001% |
開(kāi)關(guān)時(shí)間 | 約100ms |
zui大重復(fù)頻率 | 1Hz |
控制 | 板載CPU或TTL |
控制系統(tǒng) |
內(nèi)部控制 | 板載CPU |
外部控制 | PC |
外部接口 | RS-232 |
尺寸重量 |
外觀尺寸 | 510×395×200mm |
重量 | 19kg （標(biāo)準(zhǔn)配置） |
