MS7501

MS7501i

MS7504

MS7504i

衍射單元

單一的可手動更換光柵的位置支架

單一的可手動更換光柵的位置支架

四光柵塔輪

四光柵塔輪

光學(xué)系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)

成像

標(biāo)準(zhǔn)

成像

光學(xué)系統(tǒng)

光學(xué)設(shè)計

C-T非對稱光學(xué)結(jié)構(gòu)

接口

1個輸入，2個輸出

波長范圍

185nm-60μm

F/#（入射）

1/8.9

焦距（出射）

750mm

掃描范圍

0-1270nm（@ 1200l/mm）

聚焦鏡

球面鏡

散射光

5.5×10^-7（20nm@激光波長632.8nm）

焦平面

28×10mm

成像（*于MS7501i和MS7504i）

水平放大

1.05

垂直放大

1.125

垂直成像分辨率

< 15μm

驅(qū)動

馬達(dá)

微步進(jìn)電機

驅(qū)動

正弦

步長

0.18 角秒

精度

±1 步長

zui大速度

10 000步長/秒

光學(xué)參數(shù)

色散倒數(shù)

1.02nm/mm

光譜分辨率

PMT(狹縫寬度10μm）

0.015nm

數(shù)碼相機（12μm/p）

0.02nm

重復(fù)性

±0.005nm

波長精度

±0.05nm

平均掃描步長

0.0015nm

光柵

尺寸

80×70×10mm

旋轉(zhuǎn)

光柵工作表面

定位

4光柵塔輪或1光柵支架

光柵切換波長重復(fù)性（光柵1200l/mm）

±0.03nm（@4光柵）

光柵切換垂直成像重復(fù)性

±50μm（@4光柵）

光柵切換波長重復(fù)性（光柵1200l/mm）

±0.05nm（@1光柵）

光柵切換垂直成像重復(fù)性

±75μm（@1光柵）

接口

入/出射口

1個輸入，1或2個輸出

出射口重復(fù)性（自動）

±0.01nm

切換時間

10s

光譜狹縫

寬度

自動（馬達(dá)驅(qū)動）或手動（千分尺）

平行度

0-20mm,±1μm

精度（縫寬 1mm）

±10μm

重復(fù)性

±1μm（±1.5μm@手動）

讀出精度（千分尺）

2μm

步長

0.5μm

高度

0-10mm

集成快門

透光率（快門關(guān)閉）

<0.001%

開關(guān)時間

約100ms

zui大重復(fù)頻率

1Hz

控制系統(tǒng)

內(nèi)部控制

板載CPU

外部控制

PC

外部接口

RS-232

尺寸重量

外觀尺寸

950×361×343mm

重量

45kg （標(biāo)準(zhǔn)配置）