最小運動增量50nm
 | (1) 最小運動增量50nm (2) 無鐵芯直線電機，反應(yīng)靈敏，滿負載加速度可達2000mm/s2 (3) ，適用于高精密環(huán)境 |
| 產(chǎn)品型號 | FMS115Z-150H |
| 行程（mm) | 150 |
| 負載(Kg） | 10 |
| 分辨率（um) | 0.01 |
| 最小運動增量(um)【1】 | 0.05 |
| 單向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.1 |
| 單向重復定位精度/典型值*(um) | |
| 雙向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.3 |
| 雙向重復定位精度/典型值*(um) | |
| 準確度/保證值*(um) | ±1 |
| 準確度【2】/典型值*(um) | |
| 速度（mm/s) | 50 |
| 直線度(um) | 2 |
| 平整度(um) | 2 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 5 |
| Pitch俯仰（"） | 5 |
| 持續(xù)推力（N) | 20 |
| 峰值推力（N） | 72 |
| 外形尺寸(mm) | 320X115X50 |
| 臺面尺寸（mm) | 115X115 |
| [1]：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量?？紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達到高水準要求，運動系統(tǒng)的準確度、重復定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南 | |
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