大承載、長行程、電機內置
| (1) 光柵尺閉環(huán)，大承載，高精度 |
| 圖片 |  |
| 產品分類 | 步進升降臺 |
| 產品型號 | FMSZ145-120 |
| 外形尺寸 | 115x115x130 |
| 臺面尺寸（mm) | 115x115 |
| 光柵尺 | / |
| 行程（mm) | 50 |
| 速度（mm/s) | 10 |
| 負載(Kg） | 10 |
| 分辨率（um) | 0.625 |
| 最小位移量(um) | 2 |
| 單向重復定位精度(um) | ±1 |
| 雙向重復定位精度(um) | ±2.5 |
| 定位精度(um) | ±10 |
| 直線度(um) | 10 |
| 平行度(um) | 10 |
| 偏擺(") | 20 |
| 俯仰（“） | 20 |
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