微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP
MProbe 40 測量薄膜厚度和折射率單擊鼠標(biāo)在小地方。顯微分光光度計 (MSP) 集成在系統(tǒng)中同時結(jié)合顯微鏡，用于小點(diǎn)薄膜厚度測量。微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP用于數(shù)千種應(yīng)用程序，并提供完整的標(biāo)準(zhǔn)模型系列來支持它們。微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP可以快速可靠地測量 1 納米到 2 毫米的厚度，包括多層薄膜堆疊。不同的模型主要由的波長范圍和分辨率來區(qū)分，這反過來又決定了可以測量的厚度范圍。
微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP的應(yīng)用：
1. 測量圓柱或曲面上薄膜厚度：注射器、支架、銷釘、電線等。即使在高度彎曲的表面上，小點(diǎn)也會產(chǎn)生平坦的場以實(shí)現(xiàn)精確測量。
2. 不均勻、粗糙的涂層或光散射材料，如高霧度或納米粒子注入薄膜。小光斑定位測量有效地減少光散射和不均勻性的影響
3.圖案晶圓、MEMS 和其他需要高靈敏度領(lǐng)域的小區(qū)域測量的應(yīng)用。
微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP基本規(guī)格：
精度 | 0.01nm或0.01% |
準(zhǔn)確度 | 0.2%或1nm |
穩(wěn)定性 | 0.02nm或0.03% |
聚焦點(diǎn)尺寸 | 0.2mm或0.4mm |
樣品尺寸 | >20mm |
厚度范圍 | 0.05-70um |
波長范圍 | 400-1000nm |
微小區(qū)域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP選型列表：
MProbe 40 | 波長范圍 | 厚度范圍 |
VIS | 400nm -1100nm | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1100nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -1700nm | 1nm – 85μm |
UVVISNIR | 200nm-800nm | 1nm -5μm |
NIRHR | 1500nm -1550nm | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
*可根據(jù)要求設(shè)計定制探頭
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