項(xiàng)目

內(nèi)容

分解能*3

4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）
15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）
5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）

加速電壓

0.3 kV ～ 20 kV

放大倍率

6× ～ 300,000× （底片倍率）
16× ～ 800,000× （顯示倍率）

低真空模式

真空范圍：6 ～ 100 Pa

電子槍

預(yù)對中鎢燈絲

樣品臺

3-軸自動馬達(dá)臺
X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm
R：360°, T：-15° ～ ＋90°

樣品尺寸

直徑80 mm

樣品高度

40 mm

尺寸

主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm
供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm

探測器選配

· 高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）

· 能量分散型X線探測器（EDS）