世界可見光及電子光學(xué)的----德國蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域40多年及透射電鏡領(lǐng)域60年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)*：
Ÿ *臺(tái)靜電式透射電鏡 （1949）
Ÿ *臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡 （1965）
Ÿ *臺(tái)數(shù)字化掃描電鏡（1985）
Ÿ *臺(tái)帶有成像濾波器的透射電鏡 （1992）
Ÿ *臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（1990）
Ÿ *臺(tái)具有Koehler照明的 200kV 場(chǎng)發(fā)射透射電鏡（2003）
Ÿ *臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡（2003）
CARL ZEISS其前瞻性**的設(shè)計(jì)融合歐洲*制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無可撼動(dòng)的*地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)，，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡（FIB and SEM）、透射電子顯微鏡等全系列解決方案。。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到*廣大用戶的信賴與認(rèn)可。作為電鏡標(biāo)準(zhǔn)*的CARL ZEISS將一路*電鏡市場(chǎng)為您開創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀(jì)元。
源于德國卡爾•蔡司SMT部門的LIBRA 120是一款全新的能量過濾式透射電子顯微鏡（EFTEM），它可以更快、更可靠、更為穩(wěn)定的方式為您提供專業(yè)性的超微結(jié)構(gòu)及超納米結(jié)構(gòu)分析。
LIBRA 120采用了改進(jìn)的120kv的加速電壓、OMEGA鏡筒濾波器、*的科勒式照明系統(tǒng)以及可控?cái)?shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)，結(jié)合了*可重建電子功能和創(chuàng)新的WinTEMTM圖形用戶界面（ GUI ）控制系統(tǒng)。這使得LIBRA 120成為一款杰出的能量過濾式透射電鏡，可以為您提供zui為*的成像結(jié)果，元素分析，低劑量和遠(yuǎn)程控制三維實(shí)驗(yàn)等功能。
LIBRA 120性能特點(diǎn)及技術(shù)優(yōu)勢(shì)
●靈活性*的科勒式照明系統(tǒng)
科勒式照明系統(tǒng)在TEM、spot、STEM和衍射模式下均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、可重復(fù)性和優(yōu)化光照條件。
●OMEGA內(nèi)置鏡筒能量過濾器
為增強(qiáng)圖像的反襯效果，LIBRA 120 在EELS 系統(tǒng)中加入了元素分析及優(yōu)化能量分辨率功能。
●高度集成化的電子板
高度集成化的電子板集合了電子光學(xué)參數(shù)的可控性、堅(jiān)固性以及zui大限度的穩(wěn)定性等優(yōu)勢(shì)。
●WinTEMTM圖形用戶界面和符合人體工程學(xué)的控制面板
方便用戶操作。
●開放式戰(zhàn)略
支持所有的圖像格式、適用所有的攝像機(jī)和探測(cè)器，能夠zui大限度的滿足客戶的檢測(cè)要求與應(yīng)用
●數(shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)
遠(yuǎn)程控制和高度重復(fù)再現(xiàn)能力。
●EDX元素分析
可對(duì)EELS和ESI / EFTEM能夠分析的元素以外的所有元素進(jìn)行分析。
●TMP基于*的無油真空系統(tǒng)
高吞吐量、低污染率和快速抽真空
●高精度± 75 °傾斜載物臺(tái)
高精度和穩(wěn)定性
WinTEMTM
TEM提供了一種更為直觀的和符合人體工程學(xué)的用戶界面。
LIBRA系列提供了一個(gè)*的外觀設(shè)計(jì)——圖形用戶界面（ GUI ） ，已廣泛應(yīng)用于各種掃描電鏡和FIB儀器等領(lǐng)域中。圖形用戶界面的設(shè)計(jì)，使用戶可以*專注于他們的研究領(lǐng)域并且即使是在低照明的工作環(huán)境下也可對(duì)多功能的EFTEM設(shè)備進(jìn)行操控。
多用戶功能
WinTEMTM軟件可以進(jìn)行多用戶操作，每個(gè)用戶都可以設(shè)定自己的管理界面，在用戶登錄后，就可以找到屬于自己的存儲(chǔ)信息和顯示數(shù)據(jù)。
（5）
方便直觀控制系統(tǒng)
人體功程學(xué)設(shè)計(jì)
LIBRA 120通過兩個(gè)控制面板就可以對(duì)WinTEMTM軟件進(jìn)行操作，它可以放置在桌面的任何位置并可進(jìn)行多用戶操作。低光模式下，背光旋鈕和計(jì)算機(jī)屏幕呈現(xiàn)熒光綠色，方便用戶操作，這充分展現(xiàn)了LIBRA 120系列的人體功程學(xué)原理。
軟件體系結(jié)構(gòu)和遠(yuǎn)程控制
該WinTEMTM控制軟件是基于客戶端的驗(yàn)證服務(wù)器架構(gòu)的：由EM服務(wù)控件和EFTEM構(gòu)成 。用戶（客戶端）是通過圖形用戶界面的WinTEMTM和兩個(gè)硬件控制面板來實(shí)現(xiàn)互動(dòng)的。
采用程序編程接口（ API ）可以實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程操作。通過德國卡爾•蔡司SMT服務(wù)中心可以實(shí)現(xiàn)從連接EFTEM到不同實(shí)驗(yàn)室的高速、實(shí)時(shí)控制檢測(cè)和分析。
（6）
ESI-電子光譜成像：
一分鐘內(nèi)便可*檢測(cè)到樣品元素的分布
（7）
克勒式照明系統(tǒng)：
內(nèi)置式、簡(jiǎn)單易用、多選擇性，降低對(duì)樣品表面的損傷
（8）
柯勒式照明：
可自由選取衍射（ SAD ）的zui小領(lǐng)域
（9）
LIBRA 120 技術(shù)
內(nèi)置OMEGA能量濾波器
LIBRA 120能源濾波器位于兩個(gè)投影組之間并采用對(duì)稱性設(shè)計(jì)（ Lanio型），可對(duì)二次相差進(jìn)行優(yōu)化。它由四塊磁鐵和*的hex pole /quadrupole校正元素，它們位于光譜儀的對(duì)稱面上。一個(gè)帶有可變孔徑光闌的能量分散板被設(shè)置在第二個(gè)投影系統(tǒng)前。任何介于0和3500 eV之間元素成像的電子能力的損失，具體的電子能量損失介于的元素圖像可以被選擇的界定增加小學(xué)高張力，恰恰對(duì)應(yīng)能源損失的部分利益。因此的路徑選擇的電子能量損失總是軸向，激發(fā)的成像系統(tǒng)和光譜保持不變，和的立場(chǎng)狹縫孔徑始終保持不變。任何介于0到3500ev的電子能量損失對(duì)于能量核磁共振成像來說都可以通過高速電壓來實(shí)現(xiàn)，這正與能量的損失相*。因此，電子能量損失的路徑總是在縱軸上，而成像系統(tǒng)、分光計(jì)以及光學(xué)孔徑總是恒久不變。
OMEGA過濾器從純粹的意義上來說就是磁譜儀，因此他的好處就在于可以不受任何限制的為顯微鏡提供加速電壓。雖然有其固定的生命周期，但卻不需要任何特殊的操作技能。
通過預(yù)先設(shè)置能量范圍，計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制掃描，光譜就可進(jìn)行自動(dòng)記錄。
（10）
科勒式照明系統(tǒng)
聚光鏡的設(shè)置
科勒式照明系統(tǒng)包含了四個(gè)透鏡組：聚光鏡1-3和聚光鏡-物鏡（C-O）前場(chǎng)透鏡、幾個(gè)偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈，一個(gè)（可以是兩個(gè)）多孔的聚光孔徑光闌以及一個(gè)單一的聚光鏡孔徑光闌、
使用的自動(dòng)照明系統(tǒng)（AIS）根據(jù)需要的放大倍數(shù)來選擇適當(dāng)?shù)木酃忡R孔徑光闌。確保獲得一個(gè)均勻的完整的照明視野。對(duì)于低放射劑量和衍射應(yīng)用分析，可以手動(dòng)選擇聚光鏡孔徑光闌來限定照明區(qū)域。
優(yōu)勢(shì)所在
照明系統(tǒng)所具備的zui高性能以及zui大限度的靈活性是成像質(zhì)量達(dá)到*效果的*途徑。只有完善的柯勒式照明系統(tǒng)才具備以下突出優(yōu)勢(shì)：
●光學(xué)校正照明要求光束平行的照射到樣品點(diǎn)，即使光束被轉(zhuǎn)換或傾斜也能保持平行。
●無論采取何種發(fā)射方式，科勒式照明系統(tǒng)都能夠確保相同的寬視場(chǎng)照明。
●優(yōu)化樣品保護(hù)，依據(jù)不同的放大倍率，聚光鏡孔徑光闌進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，使其直接成像到樣品表面并準(zhǔn)確界定其照明區(qū)域。
●分別調(diào)整照明區(qū)域和照明孔徑角（亮度）。22級(jí)亮度步進(jìn)式調(diào)整，允許自動(dòng)精確劑量校準(zhǔn)
●簡(jiǎn)單的按鈕操作便可實(shí)現(xiàn)對(duì)光斑大小的限定。 只有調(diào)整第三聚光鏡的勵(lì)磁，才可以在照明區(qū)域的中心位置呈現(xiàn)出聚焦的小圓斑點(diǎn)。
●無需輔助鏡頭，因?yàn)榍皥?chǎng)物鏡的后焦平面一直保持在任何照明條件下提供zui為嚴(yán)格的平行光束照明到樣品表面。
●當(dāng)能量損失值發(fā)生改變時(shí)，系統(tǒng)可對(duì)照明參數(shù)進(jìn)行自動(dòng)校正
（11）
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)鏡筒
全新升級(jí)LIBRA 120采用了超級(jí)數(shù)字化理念設(shè)計(jì)的電子光學(xué)鏡筒，配置了內(nèi)置式OMEGA能源過濾器和三透鏡式科勒聚光鏡系統(tǒng)。進(jìn)一步降低了物鏡的色差系數(shù)、改善了透鏡線圈、提高了電子束的穩(wěn)定性、使聚光鏡及孔徑光闌更加靈活穩(wěn)定。帶有能量選擇光闌的電子束路徑如右圖所示。
物鏡
科勒式照明系統(tǒng)支持在物鏡前場(chǎng)透鏡的后焦平面處連續(xù)成像，且無需額外的迷你透鏡獲得平行光照射樣品點(diǎn)。無論采用spot、衍射、寬視野成像模式，聚光鏡孔徑光闌限定的照明區(qū)域和物鏡透鏡電流都保持不變。無需做任何調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)重復(fù)觀察和控制模式的快速轉(zhuǎn)換。樣本總是被固定在載物臺(tái)的eucentric軸上，同時(shí)位于物鏡的對(duì)稱區(qū)域。其大孔縫隙允許高傾斜角度，適合于各種探測(cè)測(cè)器或低溫顯微鏡anticontamination 刀口。
