大型樣品室，分析型物鏡，可同時(shí)接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細(xì)形貌同時(shí)，做化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)定性定量分析。高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)，操作維護(hù)簡(jiǎn)單方便。
CX-200TM標(biāo)配SE探測(cè)器，觀察表面精細(xì)形貌形態(tài)；可選配BSE探測(cè)器，觀察材料成分反差像，同時(shí)可擴(kuò)展低真空觀察模式，非導(dǎo)電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區(qū)分析附件（EDS、WDS,EBSD）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
        大型樣品室，分析型物鏡，可同時(shí)接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細(xì)形貌同時(shí)，做化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)定性定量分析。高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)，操作維護(hù)簡(jiǎn)單方便。
        CX-200TM標(biāo)配SE探測(cè)器，觀察表面精細(xì)形貌形態(tài)；可選配BSE探測(cè)器，觀察材料成分反差像，同時(shí)可擴(kuò)展低真空觀察模式，非導(dǎo)電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區(qū)分析附件（EDS、WDS,EBSD）原位實(shí)現(xiàn)化學(xué)成分定性定量，及微區(qū)晶體結(jié)構(gòu)定性定量分析。

主要特點(diǎn)：
--錐形物鏡，長(zhǎng)焦性能*。
--中大型樣品室分析型物鏡，可同時(shí)接配多種探測(cè)器,有較強(qiáng)分析拓展能力；
--渦輪分子泵真空系統(tǒng)高效清潔節(jié)能，
--全數(shù)字化高度集成的電器控制系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定可靠，與計(jì)算機(jī)通訊采用高速USB接口。
--zui高支持5120 x 3840像素的圖像采集能力，體現(xiàn)優(yōu)良的數(shù)字化控制掃描系統(tǒng)對(duì)電子束的控制精度
--全自動(dòng)控制能力，一鍵成像，自動(dòng)燈絲飽和，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散，自動(dòng)亮度對(duì)比度控制，自動(dòng)電子束對(duì) 中，自動(dòng)偏壓，物鏡光闌自動(dòng)搖擺對(duì)中合軸。
--NanoStation操作軟件，多種快捷按鈕，簡(jiǎn)單方便，同時(shí)允許用戶(hù)自定義熱鍵，允許更高效的操作；
  圖像灰度直方圖實(shí)時(shí)顯示，自動(dòng)調(diào)整亮度對(duì)比度。
--強(qiáng)大的圖像編輯處理能力
     

技術(shù)指標(biāo)：

分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI） 
            4.0nm（30kV，BSEI） 
放大倍數(shù)：10x~300，000x
加速電壓 0.5kV~30kV 
電子槍?zhuān)喝?jí)自給偏壓，偏壓電阻可自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié)，預(yù)對(duì)中發(fā)叉式鎢絲陰極 
透鏡系統(tǒng)：2個(gè)聚光鏡，1個(gè)物鏡 
物鏡光闌：4孔可變光闌，搖擺對(duì)中合軸 
圖像電位移和電旋轉(zhuǎn)：±50μm（WD：10㎜）；0-360°無(wú)限 
樣品室：內(nèi)徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS EBSD等分析附件. 
樣品臺(tái)及行程:五軸樣品臺(tái)，Z軸為自動(dòng)，其余手動(dòng)
             X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360° 
zui大樣品尺寸：160mm（直徑）X 71mm（高度） 
操作系統(tǒng)：PC機(jī)控制，Windows7，21.5英寸彩顯，GUI操作軟件嵌入多種圖像實(shí)時(shí)分析測(cè)量工具，鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作 
自動(dòng)功能：自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度，自動(dòng)消象散，自動(dòng)飽和，自動(dòng)對(duì)中，自動(dòng)偏壓電阻。 
視頻分辨率及幀頻：選區(qū)模式：320 x 240像素   30幀/秒
                 TV 模式：640 x 480像素     10幀/秒
                 慢掃描模式：800 x 600像素（3檔速度） 
                 掃描模式：1200 x 600像素（SE BSE 雙信號(hào)） 
                 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840像素 
                 示波器模式 
圖像格式 JPG，TIFF，BMP 
語(yǔ)言英語(yǔ) 
真空系統(tǒng)：帶安全防護(hù)的自動(dòng)高真空系統(tǒng)，渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機(jī)械泵100L/min 
          真空度實(shí)時(shí)顯示。
          高真空：樣品室處真空度優(yōu)于7.5x10-5 Torr，
          低真空：樣品室 1-270Pa

總功率：2KW
外形尺寸和重量： 
主機(jī)：77（W）x88（D）x150（H）㎝，350㎏ 
電腦桌：任意